真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)

真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否,，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率,。

1、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角,，要光滑過渡查剎于打麈拋光,、清洗清掃。

2,、抽空管道,、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡,，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性,。

3,、認真設計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通,，避免氣路堵塞,。

4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面,，表面越光亮就越不易氣體吸附,，越容易獲得真空。

5,、盡可能減小真空室的體積,，縮短管路系統(tǒng)。

密封形式的選擇

       密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式,，對于人工晶體生長設備,，一般需要的真空度在lO^-3Pa以下，因此,，無需采用金屬密封,。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封,，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封,，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封,，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％,。

    密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO^-3Pa以下的真空系統(tǒng),，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是,，考慮到實際工作條件的需要（真空室內(nèi)溫度zui高可達2300^oC,，密封部位進行水冷后，其溫度在80^oC左右,，個別處溫度可達100^oC以上）,。所以，要選擇比較理想的密封圈材料,。

    用于真空密封橡膠材料,，除要求具有光潔表面、無劃傷,、無裂紋外,，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性,，同時要有一定的強度,、硬度和彈性等。