真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)

真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否,，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。

1,、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角,，要光滑過(guò)渡查剎于打麈拋光、清洗清掃,。

2,、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,，采用圓弧過(guò)渡,，使氣路暢通無(wú)阻，但要考慮清洗清掃的方便性,。

3,、認(rèn)真設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通,，避免氣路堵塞,。

4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面,，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空,。

5,、盡可能減小真空室的體積,，縮短管路系統(tǒng)。

密封形式的選擇

       密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封形式,，對(duì)于人工晶體生長(zhǎng)設(shè)備,，一般需要的真空度在lO^-3Pa以下，因此,，無(wú)需采用金屬密封,。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動(dòng)密封,，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動(dòng)密封,，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,，直徑壓縮比為25％,。

    密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO^-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿(mǎn)足要求,。但是,，考慮到實(shí)際工作條件的需要（真空室內(nèi)溫度zui高可達(dá)2300^oC，密封部位進(jìn)行水冷后,，其溫度在80^oC左右,，個(gè)別處溫度可達(dá)100^oC以上）。所以,，要選擇比較理想的密封圈材料,。

    用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面,、無(wú)劃傷,、無(wú)裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率,，良好的耐熱性耐油性,，同時(shí)要有一定的強(qiáng)度、硬度和彈性等,。