從手機、電腦,，到汽車,、電器，再到醫(yī)療儀器,、航空裝備,，我們生活中的很多事物都離不開先進的半導體技術(shù)，而產(chǎn)量和規(guī)模的不斷增長,，也讓芯片制造工藝越來越精密,。準確的泄漏檢測技術(shù)，是確保半導體產(chǎn)品質(zhì)量和提升生產(chǎn)效率的關鍵,。

應用廣泛,，全流程覆蓋

英福康精確的泄漏檢測方案可確保對半導體工藝至關重要的真空條件的完整性,。即使是極微小的泄漏,，也可加以識別和修復，以確保半導體特性,。

使用示蹤氣體進行泄漏檢測,，可有效防止顆粒和污染物的進入，維護半導體潔凈室嚴格的潔凈度標準,。

英福康的泄漏檢測技術(shù),，包括示蹤氣體的使用,，可有效識別定位不同配置的復雜半導體設備中的各種泄漏。

精確、高靈敏度的泄漏檢測方案可確保識別極微小的泄漏,，以保持半導體制造工藝所需的純度,，防止缺陷和確保產(chǎn)品質(zhì)量。

英?？档男孤z測方案與半導體材料兼容，可確保不會損壞或改變半導體制造中所用材料的性能,。

英?？堤峁┑目煽啃孤z測系統(tǒng)能夠以極快的速度獲得可靠的結(jié)果,，從而提高半導體制造的產(chǎn)能?？焖僮R別和解決泄漏問題也是最大限度減少停機時間,，確保生產(chǎn)效率的關鍵。

英?？档男孤z測方案可與自動化系統(tǒng)無縫集成，實現(xiàn)持續(xù)監(jiān)控和即時泄漏響應,，并有助于提高半導體自動化制造過程的整體設備效率 (OEE),。

英?？抵铝τ陂_發(fā)經(jīng)濟高效的泄漏檢測解決方案,，在準確性和成本之間取得平衡。

產(chǎn)品多樣,，性能良好

UL6000 Fab

UL3000 Fab

UL1000 Fab