半導(dǎo)體行業(yè)的真空控制方案

時間：2024/6/14閱讀：592

在半導(dǎo)體制造中,，英?？档恼婵湛刂飘a(chǎn)品可應(yīng)用于各種工藝步驟，確保精準(zhǔn)控制零件及設(shè)備生產(chǎn)所必需的真空條件,。

并且,，我們的產(chǎn)品技術(shù)在全球范圍的眾多客戶處都得到應(yīng)用與印證，是能夠幫助企業(yè)提高生產(chǎn)力,、效率,、正常運行時間和產(chǎn)量的很好方案。

晶體拉制

在晶體拉制過程中,，英?？档碾娙菡婵沼嬒盗锌梢钥刂评魄粌?nèi)的工藝壓力，從而生長出無瑕的硅晶體,。這種精準(zhǔn)的壓力控制對于實現(xiàn)*佳晶體生長至關(guān)重要,，并有助于提高半導(dǎo)體材料的質(zhì)量和純度。

氧化/柵極電介質(zhì)和離子注入

在氧化/柵極電介質(zhì)和離子注入等工藝中,，英?？档恼婵湛刂飘a(chǎn)品可確保穩(wěn)定的真空環(huán)境。電容真空計系列可監(jiān)控工藝壓力,，而皮拉尼真空計和冷陰極真空計則可提供全系統(tǒng)壓力控制,。這種細致的調(diào)節(jié)對于獲得理想的材料特性和摻雜精度至關(guān)重要，從而直接影響到半導(dǎo)體器件的性能,。

光刻技術(shù)

在光刻工藝中,，英福康真空控制解決方案（包括電容真空計和皮拉尼真空計）以及熱離子真空計和冷陰極真空計可實現(xiàn)工藝系統(tǒng)內(nèi)精準(zhǔn)的壓力控制,。

真空元件可確保無泄漏連接,，有助于提高光刻工藝的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體行業(yè)的真空控制方案

蝕刻

在蝕刻工藝中,，英?？档恼婵湛刂飘a(chǎn)品，特別是電容式真空計,，可調(diào)節(jié)工藝壓力,，實現(xiàn)精準(zhǔn)的材料去除。電容計,、皮拉尼計,、熱離子計和冷陰極的組合則可實現(xiàn)全系統(tǒng)的壓力控制,，以確保蝕刻的一致性和高工藝可重復(fù)性,。

此外，采用了光學(xué)氣體分析裝置的 Augent® OPG550 能夠監(jiān)測蝕刻過程中使用的氣體成分,，進一步確保工藝穩(wěn)定性和精準(zhǔn)的材料去除,。

CVD,、PVD、ALD,、EPI 和 RTP

在 CVD,、PVD、ALD,、EPI 和 RTP 等工藝中,，英福康的真空控制產(chǎn)品在調(diào)節(jié)工藝壓力,、確保材料精準(zhǔn)沉積和開發(fā)方面發(fā)揮著重要作用,。

電容真空計系列可監(jiān)控過程壓力，而熱離子計,、冷陰極和真空配件則有助于進行穩(wěn)定的系統(tǒng)壓力控制,，提高過程均勻性和設(shè)備性能。我們的光學(xué)氣體分析儀 Augent® OPG550 能夠監(jiān)控材料沉積過程中的氣體成分,，確保*佳條件,。

半導(dǎo)體行業(yè)的真空控制方案

半導(dǎo)體行業(yè)的真空控制方案

會員登錄

收藏該商鋪

提示