Q:在傾斜,、水平或倒立安裝薄膜規(guī)時(shí),，為何有時(shí)會(huì)出現(xiàn)測(cè)量值不準(zhǔn)的情況？

A:INFICON專業(yè)工程師：薄膜規(guī)的精度非常高,，通?？蛇_(dá)到讀值的千分之幾，甚至萬(wàn)分之幾,，因此,，其測(cè)量值對(duì)于安裝方向非常敏感。不同的安裝方向下,，重力對(duì)薄膜規(guī)內(nèi)膜片的影響,，都會(huì)不同程度地引起測(cè)量值的偏差。

薄膜規(guī)的全稱為電容薄膜規(guī)（Capacitance Diaphragm Gauge）,，其內(nèi)部有一個(gè)薄膜,，我們通常叫它膜片（Diaphragm），它是測(cè)量真空度的核心部件,。膜片上與參考腔體（Reference Chamber）另一側(cè)均鍍有一層電極（Electrode）,，由此形成了一個(gè)電容，如圖①,。

電容大小的計(jì)算公式為：C=εS/d

（ε為極板間介質(zhì)的介電常數(shù),，S為極板面積，d為極板間的距離）,。

為什么薄膜規(guī)對(duì)安裝方向敏感,？

在薄膜規(guī)中，介電常數(shù)ε和極板面積S為定量,，只有極板間的距離d會(huì)發(fā)生變化,。例如，當(dāng)薄膜規(guī)的傳感器處于大氣狀態(tài)時(shí),，大量的分子撞擊膜片形成的壓力,，使膜片向參考腔體方向位移形變,，d值減小，如圖②,；而當(dāng)薄膜規(guī)的傳感器處于真空狀態(tài)時(shí),，撞擊膜片的分子減少，膜片上的作用力也減小,，使膜片回移,，d值則增大，如圖③,。電容大小隨著d值的改變發(fā)生變化,，而后我們?cè)倩谶@種變化，計(jì)算出真空度的變化,。

以上是理想情況下薄膜規(guī)的工作狀態(tài),，而實(shí)際上，除了氣體分子撞擊外,，其他因素也會(huì)引起膜片的形變,，例如，膜片的重力（gravity）,，環(huán)境溫度等等,。

由于薄膜規(guī)的精度非常高，重力對(duì)膜片產(chǎn)生的形變就變得不可忽略,。例如,，當(dāng)薄膜規(guī)垂直安裝時(shí)，膜片處于水平位置,，重力方向與膜片垂直,，作用在膜片上的重力會(huì)產(chǎn)生一個(gè)附加形變，即Δd,；而當(dāng)薄膜規(guī)水平安裝時(shí),，重力方向與膜片平行，重力不會(huì)引起膜片形變,，此時(shí),，Δd=0，如圖④,。Δd的變化,，也會(huì)改變電容大小，從而造成測(cè)量值的偏差（offset）,。

不同安裝方向會(huì)如何影響薄膜規(guī)測(cè)量值？

當(dāng)薄膜規(guī)的滿量程越小,，重力產(chǎn)生的附加形變?chǔ)對(duì)測(cè)量值的影響就越大,，例如,，對(duì)于100mtorr的薄膜規(guī)，垂直和水平方向安裝,，測(cè)量值的偏差可能會(huì)達(dá)到18mtorr左右,。

下列是不同滿量程薄膜規(guī)，在水平和垂直安裝時(shí)測(cè)量值的差別：

當(dāng)薄膜規(guī)因安裝方向測(cè)量不準(zhǔn)時(shí),，如何解決,？

INFICON薄膜規(guī)在出廠時(shí)，通常是垂直安裝進(jìn)行校準(zhǔn)的,。若因?yàn)榘惭b方向而造成測(cè)量不準(zhǔn)時(shí),，您也不用過(guò)于著急，只需將薄膜規(guī)按照目前安裝的方向,，遵行說(shuō)明書(shū)中調(diào)零的要求和步驟,，進(jìn)行一次零點(diǎn)的校準(zhǔn)即可。INFICON的薄膜規(guī)為一鍵調(diào)零,，非常方便快捷,。

零點(diǎn)校準(zhǔn)操作后，薄膜規(guī)內(nèi)置的程序會(huì)自動(dòng)將重力產(chǎn)生的測(cè)量值偏差重新計(jì)算和扣除,，這樣,，您的薄膜規(guī)就會(huì)恢復(fù)精準(zhǔn)狀態(tài)啦！