用光學(xué)功能薄膜制成的種類繁多的光學(xué)薄膜器件,,已成為光學(xué)系統(tǒng),、光學(xué)儀器中*的重要部件。其應(yīng)用已從傳統(tǒng)的光學(xué)儀器發(fā)展到天文物理,、航天,、激光、電工,、通信,、材料、建筑,、生物醫(yī)學(xué),、紅外物理、農(nóng)業(yè)等諸多技術(shù)領(lǐng)域,。
分為:基本光學(xué)薄膜,、控光薄膜、光學(xué)薄膜材料
1,、基本光學(xué)薄膜
基本光學(xué)薄膜是指能夠?qū)崿F(xiàn)分光透射,、分光反射、分光吸收和改變光的偏振狀態(tài)或相位,,可用于各種反射膜,、增透膜和干涉濾波片的薄膜,它賦予光學(xué)元件各種使用性能,,對(duì)保證光學(xué)儀器的質(zhì)量起到?jīng)Q定性的作,。
1.1減反膜(增透膜)
減反膜是用來減少光學(xué)元件表面反射損失的一種功能薄膜.它可以有單層和多層膜系構(gòu)成.單層膜能使某一波長(zhǎng)的反射率為零,多層膜在某一波段具有實(shí)際為零的反射率.在應(yīng)用中,,由于條件和應(yīng)用對(duì)象不同,,其所用的減反膜的類型與諸多因素有關(guān),例如基片材料,、波長(zhǎng)領(lǐng)域,、所需特征及成本等。
a,、單層減反膜
為減少光的反射消耗,,增大光線的透射率,常在玻璃的表面上沉積一層減反膜.其原理是光的干涉現(xiàn)象,。只要膜的折射率小于玻璃基片的折射率,,就能都實(shí)現(xiàn)光的減反射作用。
b,、多層減反膜
多層減反膜主要是為了改進(jìn)單層減反膜的不足,,進(jìn)一步提高減反膜的效果,因而采用增加膜層層數(shù)的措施,。
1.2反射膜
反射膜的作用與減反膜相反,,它是要求把大部分或幾乎是全部入射光反射回去.如光學(xué)儀器、激光器,、波導(dǎo)管,、汽車,、燈具的反射鏡,都需要沉積鍍制反射薄膜.反射膜有金屬膜和介質(zhì)膜兩種a,、金屬反射膜,。
金屬反射膜具有很高的反射率和一定的吸收能力。金屬高反射膜僅用于對(duì)膜的吸收損耗沒有特殊要求的場(chǎng)合,。
b,、介質(zhì)反射膜
金屬高反射膜的吸收損失較大,在某些應(yīng)用中,,如多光束干涉儀,、高質(zhì)量激光器的反射膜,就要求沉積低吸收,、高反射的全介質(zhì)高反射膜,。
2、控光薄膜
控光薄膜分為陽(yáng)光控制膜,、低輻射率膜,、光學(xué)性能可變換膜三種。
2.1,、陽(yáng)光控制膜
在玻璃上鍍上一層光學(xué)薄膜,,使玻璃對(duì)太陽(yáng)光中的可見光部分有較高的透射率,而對(duì)太陽(yáng)光中的紅外部分有較高的反射率,,并對(duì)太陽(yáng)光中的紫外線部分有很高的吸收率.將它制成陽(yáng)光鍍膜幕墻玻璃,,就能保證白天建筑物內(nèi)有足夠的亮度等等。
2.2,、低輻射率膜
在玻璃的表面鍍制一層低輻射系數(shù)的薄膜,,稱為低輻射率膜,俗稱隔熱膜,,它對(duì)紅外線有較高的反射率。
2.3,、光學(xué)性能可變換膜
光學(xué)性能可變換膜是指物質(zhì)在外界環(huán)境影響下產(chǎn)生一種對(duì)光反應(yīng)的改變,在一定外界條件(熱,、光,、電)下,使它改變顏色并能復(fù)原,,這種變色膜是一類有廣闊應(yīng)用前景的光學(xué)功能材料,。
3,、光學(xué)薄膜材料
3.1,、金屬和合金
金屬和合金是較為廣泛的薄膜,具有反射率高,、截止帶寬,、中性好,、偏振效應(yīng)小以及吸收可以改變等特點(diǎn),,在一些特殊用途的膜系中,,它們有特別重要的作用。
3.2,、化合物(電介質(zhì))
化合物是有重要用途并廣泛應(yīng)用的光學(xué)薄膜,,主要有:鹵化物、氧化物,、硫化物和硒化物,。
3.3,、半導(dǎo)體
半導(dǎo)體材料在近紅外和遠(yuǎn)紅外區(qū)透明,,是一類重要的光學(xué)薄膜材料.在光學(xué)薄膜中使用非常普遍的半導(dǎo)體材料是硅和鍺。
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