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激光故障注入系統(tǒng)是為集成電路安全性評(píng)估設(shè)計(jì)的高精度laser fault injection系統(tǒng)和激光故障注入顯微鏡,方便對(duì)集成電路進(jìn)行激光故障注入測(cè)試分析。
激光故障注入系統(tǒng)可把激光點(diǎn)聚焦到芯片上,從后側(cè)掃描樣品,進(jìn)而評(píng)估電子元器件的安全水平,。
激光故障注入系統(tǒng)具有1微米的激光點(diǎn)精度
該系統(tǒng)集成的激光器經(jīng)過(guò)特殊光路設(shè)計(jì)后,，***小激光點(diǎn)可達(dá)1微米,***高透過(guò)率可達(dá)90%，PDM激光源（Pulse-On-Demand Module）可達(dá)極小的圓形光點(diǎn),，可精確聚焦到電子元器件的有效面積上,。這套激光故障注入系統(tǒng)還可以根據(jù)用戶要求，配備高分辨率XYZ三維位移臺(tái),支持樣品掃描精度可達(dá)50nm.
激光故障注入系統(tǒng)采樣高精度激光器
該系統(tǒng)采樣的激光器具有超高時(shí)序控制精度,，時(shí)間抖動(dòng)<8皮秒,對(duì)于激光注入到電路板上的同步控制非常重要,。這種激光器還可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要提供1ns脈沖到連續(xù)波激光的變化,從單次發(fā)射脈沖到250MHZ的重復(fù)頻率。根據(jù)不同的硅片或電路樣品,，我們可提供980nm 或1064nm波長(zhǎng)激光器,，激光功率2W·10W。
激光故障注入系統(tǒng)具有高質(zhì)量紅外視圖
該系統(tǒng)具有高質(zhì)量紅外光和紅外成像功能,配備高分辨率IR紅外相機(jī),獲得高質(zhì)量的芯片圖片,，甚至可傳統(tǒng)數(shù)百微米的硅片成像,，還能同時(shí)看到在樣品上移動(dòng)的激光點(diǎn)。
激光故障注入系統(tǒng)具有多種鏡頭可選擇
該系統(tǒng)可配備多種鏡頭,，提供不同的焦距和光學(xué)圖片質(zhì)量,，高數(shù)值孔徑的鏡頭提供*高分辨率和透過(guò)率?？商峁┦謩?dòng)的4鏡頭位置轉(zhuǎn)塔和電控的5鏡頭位置轉(zhuǎn)塔,，可選擇50X鏡頭獲得***小激光斑點(diǎn),，也可選擇2.5X鏡頭獲得較大的激光斑點(diǎn)。
激光故障注入系統(tǒng)是交鑰匙系統(tǒng)
該系統(tǒng)經(jīng)過(guò)系統(tǒng)設(shè)計(jì),，到貨即可實(shí)驗(yàn),。我們還可以根據(jù)用戶應(yīng)用訂制該系統(tǒng)，我們還可以提供光電發(fā)射Photoemission和熱激光刺激thermal laser simulation功能集成,。

激光故障注入系統(tǒng)特點(diǎn)
可透過(guò)硅和激光斑點(diǎn)同時(shí)觀察
空間分辨率高達(dá)1微米
可提供980nm激光或1064nm激光
激光脈寬可從亞納秒到連續(xù)波供用戶選擇
時(shí)序精度高達(dá)<8ps
重復(fù)頻率高達(dá)250MHZ
透過(guò)率高達(dá)92%
同軸紅外IR視圖功能
自動(dòng)掃描XYZ電控位移臺(tái)

芯片的背部紅外視圖和激光斑點(diǎn)
激光故障注入系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
激光器部分參數(shù)
脈寬：1.5ns 到連續(xù)波
峰值功率：3.2W  （可選10W)
激光波長(zhǎng)：980nm或1064nm 
重復(fù)頻率：?jiǎn)伟l(fā)射到250MHZ
控制命令接口：TTL/LVTTL
光束質(zhì)量：?jiǎn)文?br/>透過(guò)率：>92%
視圖觀察部分
視圖：高分辨率紅外相機(jī)640x512um, 140dB動(dòng)態(tài)范圍
定位臺(tái)部分
軸數(shù)：XYZ三軸
行程：52mm
分辨率：0.315um
重復(fù)精度：+/-0.8um
***大速度：20mm/s
物鏡部分
2.5X, 20X,50X