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SR-4011-壓電旋轉(zhuǎn)定位臺,進(jìn)口壓電旋轉(zhuǎn)臺
  • SR-4011-壓電旋轉(zhuǎn)定位臺,進(jìn)口壓電旋轉(zhuǎn)臺

貨物所在地：上海上海市

所在地： www.felles.cn/x

更新時間：2025-04-17 21:00:08

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壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)定位器,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實(shí)現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)。
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)定位器,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實(shí)現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn),。
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011集成光學(xué)編碼器確保***高閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和***高重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）,。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺都可以根據(jù)用戶需求定制.
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺規(guī)格參數(shù)
型號SR-4011SR-4513
口徑9mm8mm
S閉環(huán)傳感器分辨率15μ°15 μ°
角度分辨率< 1 μ°<1 μ°
掃描范圍> 4 m°> 4 m°
行程范圍∞∞
定位臺尺寸40x 40x 11 mm345 x 45 x 12.5 mm3
負(fù)載10N(1Kg)20N(2Kg)
適合***大真空度10-6 mbar10-11 mbar
角速度15度/秒15度/秒
步進(jìn)0.3 – 2.0 m°0.3 – 3.0 m°
***大頻率18.5KHZ18.5KHZ
阻尼力Mb5N cm5N cm
***大正向力Fn10N20N
旋轉(zhuǎn)臺尺寸?31mm? 36 mm
重量60g89g
S閉環(huán)分辨率15 μ° MSC/SDC15 μ° MSC/SDC
L閉環(huán)傳感器分辨率60 μ°60 μ°
L閉環(huán)分辨率60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU		60 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU
M閉環(huán)傳感器分辨率500 μ°500 μ°
M閉環(huán)分辨率500 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU		500 μ° MSC/SDC
1 m° (H)CU
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺SR-4011材料和真空選項(xiàng)
鋼底座（-ST）
硬端止動塊，樣品短管支架
-真空（10-6m Bar）
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺應(yīng)用案例
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺
壓電旋轉(zhuǎn)定位臺搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）



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