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三維表面輪廓儀是進(jìn)口的高精度多功能表面輪廓測量儀器,，也是一款光學(xué)輪廓儀,非常適合對(duì)表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對(duì)2D輪廓或三維輪廓表面形貌和表面紋理,，微米和納米形狀,，圓盤，圓度,，球度,，臺(tái)階高度，距離,，面積,，角度和體積進(jìn)行多范圍測量。
三維表面輪廓儀根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算2D和3D參數(shù),，使用***新的ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)表面紋理分析,，依靠***新的 ISO 16610 濾除技術(shù)進(jìn)行計(jì)算，從而保證了國際公信力,。
三維表面輪廓儀創(chuàng)造性地采用接觸式和非接觸式測量合并技術(shù),，一套表面輪廓儀可同時(shí)具有接觸式和非接觸式測量的選擇。

三維表面輪廓儀參數(shù)：
XYZ行程范圍：200mm x 200mm x 200mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度：<2u/100mm
軸向分辨率：0.062um
測量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達(dá)3nm
橫向分辨率：0.9um
臺(tái)階高度測量：0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度：4um
表面輪廓儀應(yīng)用：測量輪廓,，臺(tái)階高度,，表面形貌，距離,，面積,，體積
        分析形態(tài)，粗糙度,，波紋度,，平整度，顆粒度
                                摩擦學(xué)研究,，光譜分析
三維輪廓儀廣泛用于：磨料磨具,，航天,，汽車，化妝品,，能源,，醫(yī)療，微機(jī)電系統(tǒng),，冶金,，造紙和塑料等領(lǐng)域。