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橢圓偏振顯微分光光度計MSP集合橢圓偏振光譜儀和顯微光度計功能,適合250-1000nm薄膜膜厚測量,可測量極小斑點的薄膜厚度和折射率,非常適合用于MEMS,，半導體晶圓等領域,。
橢圓偏振顯微分光光度計SE-MSP測量功能比傳統(tǒng)橢偏儀*加寬廣,在反射光譜模式下工作,，并在垂直入射角下運行這套薄膜測量儀。
spectroscopic ellipsometer,從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜,，比如納米厚度薄膜厚度,，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右,。對于測量許多材料的帶隙,，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。
橢圓偏振技術是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術,。
與反射計或反射光譜技術不同的是,，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小,，可獲得許多組數(shù)據(jù),，這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀,。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種,，一種是手動調節(jié)，一種是自動調節(jié)入射角,，我們可提供兩種模式的橢偏儀,。
橢圓偏振顯微分光光度計特色
易于安裝，拆卸和維護
**的光學設計
自動改變入射角,，入射角分辨率高達0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式,，服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學
精密高度和傾斜調整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
橢圓偏振顯微分光光度計參數(shù)
波長范圍：250-1000nm,， 與顯微分光光度計聯(lián)合使用時400-850nm
波長分辨率：~1nm
測量點大?。?-5mm可調
入射角：10-90度可調
入射角分辨率：0.01度
數(shù)字成像：130萬像素
有效放大倍數(shù)：1200X
物鏡工作距離：12mm
顯微分光光度計光束大小： 10-500微米可調
可測樣品大?。焊哌_300mm 直徑
可測樣品厚度：高達20mm
測量薄膜厚度：0nm ---10um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復精度：<1A
橢圓偏振顯微分光光度計可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置
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