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更新時(shí)間：2024-08-29 14:45:59
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12英寸晶圓輪廓儀是為半導(dǎo)體晶圓形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的多功能晶圓形貌儀器,，集成光學(xué)傳感器,實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸地測(cè)量樣本,。
12英寸晶圓輪廓儀為半導(dǎo)體應(yīng)用而開(kāi)發(fā)，適用于12''晶圓檢查,具有自對(duì)準(zhǔn)功能
12英寸晶圓輪廓儀已應(yīng)用于雕刻測(cè)量,、紋理,、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài)，尤其是在半導(dǎo)體晶圓的形貌測(cè)量,。
**技術(shù)
彩色共焦
可見(jiàn)光和紅外干涉測(cè)量
激光三角測(cè)量
所有表面均可測(cè)量（粗糙的,透明的,，拋光的表面等）
12英寸晶圓輪廓儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍：300mm x 300mm x 100mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度：<5u/300mm
軸向分辨率：0.062um
測(cè)量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測(cè)量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達(dá)3nm
橫向分辨率：0.9um
臺(tái)階高度測(cè)量：0.005%
粗糙度測(cè)量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測(cè)量厚度：4um
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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