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等離子體監(jiān)控儀是等離子體清洗等應(yīng)用所需的等離子體光譜儀器,滿(mǎn)足生產(chǎn)線(xiàn)等離子體工藝的整體過(guò)程控制和質(zhì)量保證,。等離子體監(jiān)控儀EMICON SA系統(tǒng)具有在一個(gè)系統(tǒng)中實(shí)時(shí)收集所有重要過(guò)程數(shù)據(jù)的du特組合。
等離子體監(jiān)控儀特點(diǎn)
廣泛的測(cè)量數(shù)據(jù)采集
等離子體發(fā)射模塊與光纖光譜儀一起工作以高速連續(xù)采集從UV到NIR的等離子體光發(fā)射的光譜,。這個(gè)HIPIMS/Pulse模塊允許對(duì)MHz范圍內(nèi)的電壓信號(hào)和層進(jìn)行觸發(fā)采樣控制模塊獲取生長(zhǎng)薄膜的反射光譜和/或透射光譜,。此外，信號(hào)輔助傳感器可以通過(guò)模擬電壓輸入輸入,。
實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子體過(guò)程參數(shù)
從所獲取的發(fā)射數(shù)據(jù)中,，可以選擇任意數(shù)量的等離子體線(xiàn)，持續(xù)監(jiān)控等離子體條件和成分,。HIPIMS/Pulse模塊提供電壓以及來(lái)自脈沖切片的電流值,，例如HIPIMS過(guò)程的峰值電流。這個(gè)層控制模塊基于寬帶光譜擬合來(lái)計(jì)算膜厚度，或者相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)顏色空間的顏色值,。從模塊獲取的所有數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)導(dǎo)出,，并且可以作為時(shí)間的函數(shù)顯示為所謂的監(jiān)視器軌跡從而實(shí)時(shí)提供過(guò)程狀態(tài)的全面畫(huà)面。
等離子體監(jiān)控儀典型應(yīng)用：過(guò)程監(jiān)控,，玻璃,，涂層，太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)
等離子體監(jiān)控儀規(guī)格參數(shù)
工作類(lèi)型：fieldbus 系統(tǒng)集成,，實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)控
光譜傳感器：200-1100nm
光譜通道：8個(gè)
光譜分辨率：1.5nm
動(dòng)態(tài)范圍：16bit
時(shí)間分辨率：1ms
采樣時(shí)間：250us~分鐘
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：發(fā)射光譜,，脈沖曲線(xiàn),光譜層,信號(hào)傳感器