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微流控芯片光刻機(jī)專業(yè)為微流控芯片制作而設(shè)計(jì),，用于刻畫制作微結(jié)構(gòu)表面,，全自動(dòng)化和可編程操作，適合幾乎所有常用材料,。
微流控芯片光刻機(jī)采用多功能一體化設(shè)計(jì)理念,，一臺光刻機(jī)具有六個(gè)傳統(tǒng)單一的表面刻劃機(jī)器的功能，而且不需要無塵環(huán)境,，用戶安裝使用不再需要單獨(dú)建設(shè)超凈間,，從而大大提高用戶的使用經(jīng)濟(jì)性和方便性。
微流控芯片光刻機(jī)特色
可以根據(jù)用戶的芯片襯底基片尺寸,，形狀和厚度進(jìn)行調(diào)節(jié),。
是一種無掩模光刻系統(tǒng)，具有兩個(gè)易操作的軟件,，用戶可以創(chuàng)建個(gè)人微結(jié)構(gòu)圖案,，從單個(gè)微通道到復(fù)雜的微觀結(jié)構(gòu)都可以創(chuàng)建。
具有技術(shù)突破性設(shè)計(jì)和靈活性優(yōu)勢,，非常適合加工微納結(jié)構(gòu)用于MEMS,，BioMEMS，微流控系統(tǒng),，傳感器，光學(xué)元件,，MicroPatterning微圖案化,，實(shí)驗(yàn)室單芯片，CMOS傳感器和所有其他需要微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用,。
無掩模光刻系統(tǒng)可以快速而輕松地做出許多種微圖案結(jié)構(gòu),，從zui簡單到非常復(fù)雜的都可以。它的寫入磁頭裝備有一個(gè)激光二極管（波長405納米- 50毫瓦）,，光學(xué)掃描器和F-θ透鏡（405納米）,。激光束根據(jù)設(shè)定微結(jié)構(gòu)圖案而運(yùn)動(dòng)。
為了方便使用，較好的再現(xiàn)性和較高的質(zhì)量,，焦距是可以根據(jù)基片厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)的,。圖像采集期間可以使用控制面板調(diào)節(jié)焦距。幾個(gè)基片厚度都可以使用,。 編程參數(shù)被保存以供以后使用,，修改或其他用戶使用。