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3D激光共聚焦形貌顯微鏡是一種高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM）,，用于精確可靠的三維測量,，從一系列光學剖切圖像中提供目標物體的三維描述,，通過該算法,，橫截面圖像被直接轉換為三維輪廓數(shù)據(jù),。

3D激光共聚焦形貌顯微鏡是一種高速共焦激光掃描顯微鏡（CLSM），用于精確可靠的三維測量,，從一系列光學剖切圖像中提供目標物體的三維描述,，通過該算法，橫截面圖像被直接轉換為三維輪廓數(shù)據(jù),。這種*的原始截面圖像,，直觀地解釋，使表面輪廓數(shù)據(jù)絕對優(yōu)于其他光學技術,。

3D激光共聚焦形貌顯微鏡特點

-高分辨率無損光學三維測量

-實時共焦成像

-各種光學變焦

-同時亮場和共焦成像

-具有精細自動聚焦的自動增益搜索

-傾斜補償

-簡易分析模式

-精密可靠的高速測高

-通過半透明基板檢查特征

-無樣品制備

-寬范圍檢測的圖像拼接

3D激光共聚焦形貌顯微鏡應用

-半導體：IC圖形,，凸點高度，線圈高度,，缺陷檢查,，CMP工藝

-FPD產(chǎn)品：觸摸屏檢查，ITO圖案,，LCD柱墊高度

-MEMS器件：結構的三維輪廓,，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面：薄膜太陽能電池,，太陽能電池紋理,，激光圖案

-材料研究：模具表面檢查,，粗糙度，裂紋分析

3D激光共聚焦形貌顯微鏡測量表面粗糙度
3D激光共聚焦形貌顯微鏡規(guī)格參數(shù)

型號	顯微鏡	NS-3600
物鏡放大倍數(shù)		10×	20×	50×	100×
觀察/ 測量范圍	水平 (H): μm	1400	700	280	140
觀察/ 測量范圍	豎直 (V): μm	1050	525	210	105
工作距離: mm		17.5	4.5	1.0	1.0
數(shù)值孔徑 (N.A.)		0.30	0.45	1.0	1.0
觀察/測量的光學系統(tǒng)		小孔聚焦光學系統(tǒng)

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