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這款晶圓自動四探針電阻率計(jì)是四點(diǎn)探針型的半導(dǎo)體晶圓和電阻薄膜的電阻率特性測量儀器,，它采用微處理器電路直接計(jì)算出V/I數(shù)值,，表面電阻率,薄片電阻率,晶片電阻率,金屬化厚度,PN結(jié)類型測試。
晶圓自動四探針電阻率計(jì)采用緊湊型設(shè)計(jì),，把電子電路和探針機(jī)械集成在較小外部結(jié)構(gòu)中,，采用堅(jiān)固的鑄鋁外殼確保探針的安全性。
自動四探針電阻率計(jì)的探針頭固定在堅(jiān)固外殼中,，與諸多四探針和探針臺把探針頭進(jìn)入晶圓測量,，我們的產(chǎn)品是把晶圓移動到探針頭測量,，這樣就確保了恒定連續(xù)的探針力不受操作人員和經(jīng)驗(yàn)厚度的影響而改變。

自動四探針電阻率計(jì)能夠?qū)μ结樦貜?fù)定位,，探針頭采用可更換設(shè)計(jì),，電磁特性對電阻材料的干涉影響降低到zui低水平。
全自動電阻率計(jì)采用微處理器電路,，直接計(jì)算戶V/I 值,，薄片電阻率或晶片電阻率，金屬化厚度和P-N結(jié)類型等指標(biāo),。
電路和探針采用集成設(shè)計(jì),，并采用高級鋁作為外主材，堅(jiān)固耐用,。

全自動電阻率計(jì)采用恒力探針頭堅(jiān)固地固定在外殼上,，而探針頭可以自由取下測量，這就確保了恒力操作,，不受操作員的每次測量用力不同的問題和晶圓厚度不等的問題引入的誤差,。

全自動電阻率計(jì)配比了晶圓定位架，用于探針重復(fù)定位,。

全自動電阻率計(jì)特點(diǎn)
操作方便簡易
自動校準(zhǔn)計(jì)算顯示薄片電阻率或鏡片電阻率,， V/I值，金屬化厚度和PN結(jié)類型
非常適合外延,擴(kuò)散,，離子注入和金屬化層測量
內(nèi)置每次測量自校準(zhǔn)功能,，儀器測量精度為0.5%
可編程控制

測量功能和范圍

數(shù)字計(jì)算*直接顯示薄片電阻率，從1.1毫歐盟/平方 到 450千歐姆/平方
鏡片電阻：4.9x10^-2毫歐姆到17.1千歐姆-cm
V/I 值從0.25毫歐姆到99千歐姆
金屬化層厚度從20A  到243KA

微處理器電路
自動測量
4選擇顯示
自動測量