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SE200BM-M300-進口光譜橢偏儀
  • SE200BM-M300-進口光譜橢偏儀

貨物所在地:上海上海市

地: 美國

更新時間:2024-08-07 20:51:52

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這款手動光譜橢偏儀SE200BM是一種手動變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍,,手動改變?nèi)肷浣?。手動spectroscopic ellipsometer光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜,比如納米厚度薄膜測量,硅晶圓薄膜厚度測量,,典型值在2nm左右,。對于測量許多材料的帶隙,深紫外光譜橢偏儀也非常重要,。

這款手動光譜橢偏儀是一種手動變角光譜橢偏儀深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍,,手動改變?nèi)肷浣?。手動spectroscopic ellipsometer光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜,比如納米厚度薄膜測量,硅晶圓薄膜厚度測量,,典型值在2nm左右,。對于測量許多材料的帶隙,深紫外光譜橢偏儀也非常重要,。
橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù),。
與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是,光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得,。通過改變?nèi)肷浣谴笮?,可獲得許多組數(shù)據(jù),這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力,,因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀,。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種,一種是手動調(diào)節(jié),,一種是自動調(diào)節(jié)入射角,,我們可提供兩種模式的橢偏儀。


手動光譜橢偏儀SE200BM特色
易于安裝,,拆卸和維護
良好的光學設計
自動改變?nèi)肷浣?,入射角分辨率高達0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式,服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直,,不需要額外光學
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片


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