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WOP-laser litho-飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)
  • WOP-laser litho-飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)

貨物所在地:上海上海市

地: 孚光精儀上海

更新時間:2025-06-01 20:38:53

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這款飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system是專業(yè)為微納結(jié)構(gòu)光蝕刻而設(shè)計的激光直寫光刻機(jī),。飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)基于多光子聚合技術(shù)(multi photon polymerization, mPP),適合市場上的各種光刻膠(photoresists),,能夠以納米精度和分辨率微納加工各種三維結(jié)構(gòu),是*的激光光刻機(jī).

這款飛秒激光直寫光刻系統(tǒng),laser lithography system是專業(yè)為微納結(jié)構(gòu)光蝕刻而設(shè)計的激光直寫光刻機(jī)。飛秒激光直寫光刻系統(tǒng)基于多光子聚合技術(shù)(multi photon polymerization, mPP),適合市場上的各種光刻膠(photoresists),,能夠以納米精度和分辨率微納加工各種三維結(jié)構(gòu),是的激光光刻機(jī).

  • 激光光刻機(jī)3D模型制備

  • 直寫光刻機(jī)直接激光刻劃

  • 激光光刻機(jī)整套系統(tǒng)到貨即可使用

  • 激光光刻機(jī)提供100nm-10um的分辨率

  • 直寫光刻機(jī)超小尺寸

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激光光刻機(jī)3D模型的制備
這套三維光刻機(jī)
由激光微加工系統(tǒng)軟件控制,,簡單的3D模型通過這種軟件即可生成,對于比較復(fù)雜的3D模型,,用戶可以通過Autodesk, AutoCAD等軟件制作,,然后導(dǎo)入到三維光刻機(jī)的軟件中,這個軟件支持.stl, dxf等格式的文件用于3D結(jié)構(gòu)的制造,。
要參數(shù)可以根據(jù)要求而設(shè)定:浸入時間,溫度等.對于*殊的樣品或加工對象,,可以使用紫外光或干燥機(jī)處理。
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應(yīng)用激光光刻機(jī)激光直接讀寫
這套激光光刻機(jī)由飛秒激光光源,,精密的3軸定位臺和掃描鏡組成,。首先,待刻錄的圖形通過激光光刻機(jī)精密的激光聚焦系統(tǒng)直接從CAD設(shè)計中導(dǎo)入到光刻膠上,。聚合物的雙光子或多光子吸收用于形成高質(zhì)量表面的3D結(jié)構(gòu),。<100nm的尺寸可自形成結(jié)構(gòu),200nm-10um尺寸的結(jié)構(gòu)可以控制并重復(fù),,

• Nanophotonic devices (3D photonic crystals)激光光刻機(jī)用于納米光子器件(三維光子晶體)
• Microfluidics 三維光刻機(jī)用于微流控芯片
• Microoptics (lenses, structures on an optical fiber tip, etc.)三維光刻機(jī)用于微光學(xué)(光學(xué)端面微結(jié)構(gòu)制作)
• Micromechanics 激光光刻機(jī)制作機(jī)微機(jī)械
• Micro-Opto-Electromechanical Systems (MOEMS) 激光蝕刻機(jī)制作微型光機(jī)電系統(tǒng)
• Biomedicine 激光光刻機(jī),三維光刻機(jī)用于生物醫(yī)學(xué)


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