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貨物所在地:上海上海市
所在地: 歐洲
更新時間:2024-08-22 17:03:20
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這套無掩膜光刻機具有無掩模光刻技術(shù)的便利,,大大提高無掩膜影印和新產(chǎn)品研發(fā)的效率,節(jié)省時間,,是的無掩模光刻系統(tǒng),。
這款無掩模光刻機直接用375nm或405nm紫外激光把圖形寫到光膠襯底上。
無掩模光刻系統(tǒng),,無掩膜光刻機特色
尺寸:925x925x1600mm
內(nèi)置計算機控制接口
激光光源:375nm或405nm
視頻輔助定位系統(tǒng)
自動聚焦設置
無掩模光刻機,,無掩膜光刻機參數(shù)
線性寫取速度:>500mm/s
重復精度: 100nm
晶圓寫取面積:1—6英寸
襯底厚度:250微米-10毫米
激光點大小:1-100微米
準直精度:500nm