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飛秒激光劃片機(jī)是專業(yè)為太陽能電池激光劃片激光刻膜激光燒蝕加工開發(fā)的小型太陽能電池飛秒激光劃片機(jī)和飛秒激光晶圓切割機(jī),，廣泛用于晶圓邊緣隔離,，晶圓背向接觸燒結(jié)（Back contact laser fireing,BCLC),晶圓激光打標(biāo)和晶圓切割。
這套飛秒激光晶圓劃片機(jī)使用了高精度的掃描振鏡,，可以加工5''和6''的晶圓硅片.

太陽能電池激光劃片機(jī)配備的軟件能夠精確探測晶圓邊緣,控制XYZ三維的光束定位,，并監(jiān)控激光功率等參數(shù)。
這套激光晶圓劃片機(jī)為大學(xué)或科研院所提供了一種多功能,高精度的太陽能電池晶圓的加工設(shè)備,可以廣泛用于晶圓激光打標(biāo),晶圓邊緣隔離,，晶圓背向接觸燒結(jié)（Back contact laser fireing,BCLC)以及晶圓切割,。

在制造晶體硅太陽能電池過程中通常使用p型晶圓，通過磷擴(kuò)散形成n型層,。這種n型層形成于太陽能電池表面,，被稱作發(fā)射極，當(dāng)然此時也形成了p-n結(jié),。在對邊緣未隔離之前,，邊緣電流會減少太陽能電池的效率。 現(xiàn)在通常使用激光晶圓劃片機(jī)超快激光進(jìn)行邊緣隔離, 使用激光對距離上表面150-300微米的區(qū)域進(jìn)行激光切割,。太陽能電池激光劃片機(jī),這種切割深度不得小于發(fā)射極的深度(2-10微米）,。
我們在這套激光晶圓劃片機(jī)中使用高精度的掃描振鏡控制激光光束進(jìn)行切割，并配備了*的機(jī)械視圖功能,，可以實(shí)時探測到晶圓位置以及邊緣隔離的精度, 配備的軟件可以讓用戶在“科學(xué)研究“和"工業(yè)應(yīng)用“兩種模式下選擇使用,。

飛秒激光劃片機(jī)系統(tǒng)構(gòu)成--科研用途


飛秒激光劃片機(jī)系統(tǒng)-工藝級用途