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薄膜測厚儀是高精度薄膜厚度測量系統(tǒng),采用小光斑光譜反射計(jì)獲得薄膜厚度信息,可靠的固態(tài)線性二極管陣列可快速,、精確地測量單層薄膜,，如氧化物,、氮化物和光刻膠,，以及厚度范圍為100?至30µm的多達(dá)3層薄膜堆疊的頂層。
該薄膜測厚儀系統(tǒng)具有卓yue的價(jià)值,，配有多達(dá)15種標(biāo)準(zhǔn)薄膜厚度測量算法,，在世界各地的實(shí)驗(yàn)室中使用，以緊湊的設(shè)計(jì)提供精確的薄膜厚度測量,。
薄膜測厚儀應(yīng)用
大量應(yīng)用中提供精確的薄膜厚度測量,。保證3層測量，在某些情況下根據(jù)參數(shù)超過3層,。測量具有一定反射率的***光滑或半光滑表面
LED,太陽能,，F(xiàn)PD/LCD，OLED,，Photomask,，電源設(shè)備，SOI,HDD磁頭等,。
薄膜測厚儀規(guī)格參數(shù)
薄膜層數(shù)：***多3層
波長范圍：380-800nm
重復(fù)精度：2 ?
薄膜類型：可測
n&k數(shù)值：可測
測量時(shí)間：0.1-25秒
可測薄膜厚度：100?~30um
可測晶圓尺寸：3,4,5,6,8英寸