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Hybrid Hexapod六軸平臺采用ALIO六軸定位臺Hexapod器件,采用與傳統(tǒng)6自由度（6-DOF）定位臺不同的方法，以競爭力的價格展示了更高的性能,。
Hybrid Hexapod六軸平臺結(jié)合了精密XY單片工作臺,、三腳架和連續(xù)旋轉(zhuǎn)θ-Z軸,，而不是6個獨立支腿（和12個連接接頭）,，以提供整體性能。這使得傳統(tǒng)的六足運動學(xué)過時,，在精度,、路徑性能、速度,、剛度和更大的工作范圍（幾乎不受限制的XY行程）以及可編程的刀具中心點位置方面有了幾個數(shù)量級的改進(jìn),。
Hybrid Hexapod六軸平臺具有小于100 nm的三維6軸點精度®可重復(fù)性，使其成為激光加工,、光學(xué)檢測,、光子學(xué),、半導(dǎo)體,、計量學(xué)和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域以及所有微加工項目中關(guān)鍵任務(wù)應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。
傳統(tǒng)的六足機器人無法達(dá)到亞微米精度,，因為它們需要精確協(xié)調(diào)所有六個軸的運動,，以完成運動輪廓，即使這一要求僅適用于簡單的單軸運動,。此外,，盡管人們普遍認(rèn)為,，與串聯(lián)堆疊的多軸系統(tǒng)相比，Hexapod六軸平臺表現(xiàn)出良好的剛度,，但這實際上僅限于垂直“z"軸,，而在“xy"平面上則存在弱點。
Hybrid Hexapod六軸平臺Angulares
Angulares Hybrid Hexapod®的60度傾斜/傾斜行程是目前市場上任何6自由度（6-DOF）定位器所能提供的最大角度行程范圍,，并提供與ALIO的所有Hybrid Hexapod系統(tǒng)相同的定位性能,。它非常適合于非球面和自由曲面光學(xué)計量、硅光電子封裝和探測,、激光微處理（非平面基板和錐度控制）,、晶圓計量、相機模塊對準(zhǔn)和組裝,、傳感器/圖像穩(wěn)定測試,、光學(xué)元件和光纖對準(zhǔn)等應(yīng)用。
Hybrid Hexapod六軸平臺Angulares具有精密交叉滾柱軸承導(dǎo)軌,、所有軸上的光學(xué)增量或絕對編碼器反饋,、直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅(qū)動器、無限可編程刀具中心點位置和坐標(biāo)偏移,，以及所有軸上的零齒隙,。該設(shè)計使角度最大的M能夠無限的XY行程，Z行程為62毫米,，使用其他三腳架模型可以增加到208毫米,，傾斜/傾斜行程為60度（+/-30度），連續(xù)360度θ-Z,，XYZ雙向重復(fù)性小于+/-0.6弧秒,，速度高達(dá)100毫米/秒XY和Z，小于10納米的線性和0.1弧秒的角度最小增量運動,。