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鎖相熱成像系統(tǒng)是專業(yè)為半導體器件熱點成像分析和熱點失效分析設計的鎖定熱成像相機系統(tǒng),支持鎖定鎖相紅外發(fā)射熱成像和鎖定鎖相熱反射成像,。
鎖定鎖相熱成像技術能夠隨著時間的推移進行重復測量,，以顯著提高信噪比，進而提高熱靈敏度,。通過這種方法,，可以實現(xiàn)1mK范圍內(nèi)的熱靈敏度，從而能夠使用san IR傳感器檢測功率水平低于10微瓦的熱點,。利用TR傳感器,，衍射有限的空間分辨率可以滿足當今優(yōu)良設備所需的分辨率。
鎖相熱成像系統(tǒng)組成
帶有鎖定電子器件的控制器,，用于高分辨率熱成像
嵌入式用戶友好的 SanjVIEW™ 和 SanjANALYZER™ 軟件,，具有用于系統(tǒng)管理、數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)分析的高級算法
用于溫度校準和發(fā)射映射的 TransientCAL™ 技術
用于溫度傳感的高分辨率熱電偶
高性能顯示器,、鍵盤和鼠標
安裝和連接到客戶提供的光學系統(tǒng)和探測站所需的所有電纜
用戶安裝指南和操作手冊
鎖定鎖相熱成像系統(tǒng)組成
產(chǎn)品類型：臺式結構,頂部成像
瞬態(tài)分辨率：50 微秒
傳感器：用于 TR 模式的 CMOS,，用于 IR 模式的 VO 微測輻射熱計
光譜范圍：TR 模式 400 nm 至 800 nm，IR 模式 7.5 微米至 13.5 微米
主動熱像素：TR 模式為 1920 x 1200像素,，IR 模式為 640 x 512像素
像素尺寸：5.86 微米
空間分辨率：59 nm/像素@100x
NETD：TR 模式下為 100mK（平均 5 分鐘）,，IR 模式下為 5mK
軟件：用于控制、分析和自動化的 SanjVIEW™
光源：可見光波段 9 種可選波長