產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣 |
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微流控芯片光刻機(jī)專業(yè)為微流控芯片制作而設(shè)計,用于刻劃制作微結(jié)構(gòu)表面,全自動化和可編程操作,適合幾乎所有常用材料。
微流控芯片光刻機(jī)專業(yè)為微流控芯片制作而設(shè)計,用于刻劃制作微結(jié)構(gòu)表面,全自動化和可編程操作,適合幾乎所有常用材料。
微流控芯片光刻機(jī)采用多功能一體化設(shè)計理念,,一臺光刻機(jī)具有六個傳統(tǒng)單一的表面刻劃機(jī)器的功能,,而且不需要無塵環(huán)境,,用戶安裝使用不再需要單獨建設(shè)超凈間,,從而大大提高用戶的使用經(jīng)濟(jì)性和方便性,。
微流控芯片光刻機(jī)特色
可以根據(jù)用戶的芯片襯底基片尺寸,,形狀和厚度進(jìn)行調(diào)節(jié),。
是一種無掩模光刻系統(tǒng),具有兩個易操作的軟件,,用戶可以創(chuàng)建個人微結(jié)構(gòu)圖案,,從單個微通道到復(fù)雜的微觀結(jié)構(gòu)都可以創(chuàng)建。具有技術(shù)突破性設(shè)計和靈活性優(yōu)勢,,非常適合加工微納結(jié)構(gòu)用于MEMS,,BioMEMS,,微流控系統(tǒng),傳感器,,光學(xué)元件,,MicroPatterning微圖案化,實驗室單芯片,,CMOS傳感器和所有其他需要微結(jié)構(gòu)的應(yīng)用,。

無掩模光刻系統(tǒng)可以快速而輕松地做出許多種微圖案結(jié)構(gòu),從zui jian dan到非常復(fù)雜的都可以,。它的寫入磁頭裝備有一個激光二極管(波長405納米- 50毫瓦),,光學(xué)掃描器和F-θ透鏡(405納米)。激光束根據(jù)設(shè)定微結(jié)構(gòu)圖案而運動,。
為了方便使用,,較好的再現(xiàn)性和較高的質(zhì)量,焦距是可以根據(jù)基片厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)的,。圖像采集期間可以使用控制面板調(diào)節(jié)焦距,。幾個基片厚度都可以使用。
編程參數(shù)被保存以供以后使用,,修改或其他用戶使用,。