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晶圓接觸角測試儀是為晶圓表面加工質量檢測而設計的光學接觸角測試儀,提供晶圓表面接觸角和表面能分析,以評估附著力、清潔度和涂層,。
盡管晶圓接觸角測試儀是為晶圓表面分析而設計,但它適合任何需要位移臺行程較大的應用,可輕松容納尺寸高達W12“x L12"x H.75“的樣品,。
晶圓接觸角測試儀VCA 3000S采用精密相機和優(yōu)良的PC技術，捕捉液滴的靜態(tài)或動態(tài)圖像,，并確定接觸角測量的基礎切線。手動或自動注射器提供測試液體的簡單分配,。計算機化的操作消除了人為錯誤的線條繪制和捕捉動態(tài)圖像的時間敏感分析,。數(shù)據(jù)和圖像存儲在計算機中，以便以后分析或方便地傳輸?shù)狡渌浖贸绦颉?/span>
晶圓接觸角測試儀應用
HMDS工藝的涂層評定
表面污染檢測
粘合劑和底漆制備
涂層均勻性
涂層質量
表面清潔度

晶圓接觸角測試儀特點
高分辨率攝像機,，帶放大鏡和高強度LED照明,，可精確拍攝圖像
300mm旋轉臺，允許進入晶圓的所有區(qū)域
 PC是高性能視頻板的標準配置,，用于高級圖像分析和視頻捕獲
平板顯示器
自動接觸角成像與計算
動態(tài)液滴捕捉（液滴的電影觀看）
表面能（達因/cm）分析
統(tǒng)計過程控制