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這款193nm準分子激光器是ArF激光器和深紫外激光器的代表產(chǎn)品,適合準分子激光醫(yī)學(xué),科研和激光應(yīng)用,。193nm準分子激光器是良好的紫外光源,脈沖能量高達6mJ，脈沖重復(fù)頻率高達1000Hz,。
193nm準分子激光器是市場上使用壽命最長,、可靠性最高、運行成本zui di的紫外激光器,其良好的能量穩(wěn)定性使其非常適合紫外激光醫(yī)學(xué)和科研等要求較高的應(yīng)用,。
193nm準分子激光器主要特點
堅固設(shè)計
電暈預(yù)電離
固態(tài)電路
管道技術(shù)
激光能量監(jiān)測
緊湊型準分子激光器,單相電
高可靠性
均勻光束輪廓
即時可用,，無老化
全金屬密封管
數(shù)十億脈沖的超長壽命
激光能量穩(wěn)定
易于操作，易于集成

193nm準分子激光器參數(shù)
 工作物質(zhì)                                      ArF   ArF   ArF    
波長（nm）                                 193   193   193   
最大重復(fù)頻率（Hz）    200   500   1000   
穩(wěn)定脈沖能量（mJ）     6     6      6     
穩(wěn)定脈沖功率（W）    1.2   3.0    6.0   
能量穩(wěn)定性（sigma,%）         2        2         2   
光束尺寸（FWHM,V x H mm）6x3    6x3     6x3  
光束發(fā)散（FWHM,V x H mrad）2x1   2x1    2x1  
脈寬（FWHM）（ns）   5-10  5-10     5-10  
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