目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光譜輻射測量系統(tǒng)>>光柵光譜儀>> FPIST-GISMEUV等離子體光譜儀,VUV
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更新時(shí)間：2024-09-19 10:54:20瀏覽次數(shù)：444評(píng)價(jià)
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EUV等離子體光譜儀是專業(yè)為光譜范圍高達(dá)40nm的EUV等離子體特性測量而開發(fā)的VUV光譜儀,非常適合用作真空紫外焦光入射光譜儀單色儀。
EUV等離子體光譜儀特點(diǎn)
-單色儀和光譜儀模式
-恒定偏轉(zhuǎn)角
-光柵精密旋轉(zhuǎn)的波長掃描
千分尺驅(qū)動(dòng)進(jìn)出口狹縫組件；
EUV等離子體光譜儀規(guī)格
入射角：φ=85°
衍射角：φ=81°
恒定偏差角：φ=φ±ψ=166°
光譜范圍：4–42.5nm
可更換衍射光柵：1200,、600、300 G/mm
光譜儀長度：250mm
20μm入口狹縫的光譜范圍,、色散和光譜分辨率（默認(rèn)）：
光柵,，G/mm 光譜范圍，nm 色散,，nm/mm 分辨率,，nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16
EUV等離子體光譜儀是專業(yè)為光譜范圍高達(dá)40nm的EUV等離子體特性測量而開發(fā)的VUV光譜儀,非常適合用作真空紫外焦光入射光譜儀單色儀。
EUV等離子體光譜儀特點(diǎn)
-單色儀和光譜儀模式
-恒定偏轉(zhuǎn)角
-光柵精密旋轉(zhuǎn)的波長掃描
千分尺驅(qū)動(dòng)進(jìn)出口狹縫組件,；
EUV等離子體光譜儀規(guī)格
入射角：φ=85°
衍射角：φ=81°
恒定偏差角：φ=φ±ψ=166°
光譜范圍：4–42.5nm
可更換衍射光柵：1200,、600、300 G/mm
光譜儀長度：250mm
20μm入口狹縫的光譜范圍,、色散和光譜分辨率（默認(rèn)）：
光柵,，G/mm 光譜范圍，nm 色散,，nm/mm 分辨率,，nm
1200 4.4-10.6 0.73-0.91 0.04
600 8.9-21.2 1.46-1.82 0.08
300 17.7-42.5 2.92-3.64 0.16
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