目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>激光微納加工系統(tǒng)>>飛秒激光微加工系統(tǒng)>> FPMIN-ADE-100進口干法刻蝕機
太陽能電池單面干法刻蝕機是專業(yè)為晶圓刻蝕設計的干法蝕刻機。
這款太陽能電池刻蝕機專為小型試驗線和科學研究機構設計,圍繞一個ADE反應堆建造的.可配備自動裝載機/卸載機,，以提供*高的吞吐量,。它對用戶友*，可以非?？焖俚貑樱湫偷奈g刻/紋理處理持續(xù)時間不到一分鐘,。無需真空或等離子體,，該干式蝕刻工具不同于反應離子蝕刻（RIE）工具。
快速啟動-易于維護
一旦工具達到工藝溫度,，工藝即可開始,，并立即產生穩(wěn)定的結果。工藝氣體由質量流量計精確控制,。一旦晶片從工具中出來,，它們就可以用于下一個加工步驟；快速而有效的蝕刻，無論是對于幾片晶圓,，還是大批量晶圓,！該工具還設計為易于維護和接近化學反應器。
通用,適合多種蝕刻需要
通用硅蝕刻/紋理化解決方案,。允許使用金剛石線切割晶片,、外延晶片、鑄造晶片,、單晶和多晶,。也適用于Si沉積層，如非晶硅（a-Si）和多晶硅層
太陽能電池單面干法刻蝕機應用
正面紋理/黑硅/納米和微紋理
單面蝕刻/紋理
Mc-Si金剛石線切割晶片紋理
TOPCON電池的單面非晶硅（a-Si）去除
鑄造晶片,、UMG,、外延晶片紋理
無ARC層太陽能電池的發(fā)展
薄膜蝕刻/紋理
發(fā)射極回蝕和選擇性發(fā)射極方案
圖案蝕刻/選擇性蝕刻
背面發(fā)射器移除和平整
鋸傷清除
簡化的PERC流程
多孔層吸氣
9
化工儀器網(wǎng)