高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)在中國科技大學安裝

孚光精儀高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)日前在中國科技大學中科院量子信息重點實驗室安裝成功,成為代表我公司飛秒激光微加工光刻機裝備和服務水平的又一力作.

這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)具有當今上飛秒激光直寫光刻微加工的水平,為中國科技大學科學研究提供可靠保障,可廣泛用于紫外飛秒微加工,飛秒微納加工和飛秒精細加工的各種應用.
這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)有全自動化控制加工功能,自動樣品納米級定位系統(tǒng),，自動調整激光偏振和激光能量調整功能,，真正實現(xiàn)了省心，操作,，非常適合激光微納加工的探索研究,。
紫外飛秒激光與物質的相互作用是jianduan的課題，紫外光具有更高的光子能量,，對材料的微納加工更具優(yōu)勢,，紫外波段超快激光與物質的相互作用值得探索,，然而紫外飛秒激光的穩(wěn)定應用相比于基頻光更為困難，這一難題在孚光精儀歐洲中心突破后,，實現(xiàn)媲美基頻光的穩(wěn)定性和可靠性,，并發(fā)射出適合科學研究的激光能量。