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　　真空鍍碳儀為SEM,、TEM,、STEM、EDS/WDS,、EBSD和微探針分析提供高質量的鍍膜技術,。產(chǎn)品結構緊湊,，所占空間小,。樣品室直徑150mm，可快速抽真空進行鍍膜處理,，處理周期約10分鐘,。高真空條件下使用超純的碳棒為嚴格的高分辨掃描電鏡、透射電鏡,、EBSD及探針分析提供高質量的鍍膜處理,。組件設計方式可方便地對不同優(yōu)化條件下的各種應用進行切換。

 

　　真空鍍碳儀操作流程：

　　1,、連接電源并打開主機（POWER）,。

　　2、等綠燈亮后,，再等3~5分鐘再調節(jié)電壓（4V）和時間（6s）,。

　　3,、打開主機背面的小開關，調整轉速在3~4檔,，并設定電壓和時間,。

　　4、打開測厚儀并使其歸零,。

　　5,、按START鍵開始噴碳。

　　6,、實驗結束先停止設備轉動,，并先關掉設備背面小開關。

　　7,、再關POWER,。

　　8、關機后打開玻璃罩上蓋,，等其降到實溫之后再將其蓋好,。

 

　　使用后的必要維護：

　　1、為保證真空鍍膜設備有清潔的工作環(huán)境,，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件，嚴重影響膜層的質量,。

　　2,、平時整個系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體,，不要使真空室長期暴露在大氣中,。

　　3、經(jīng)常檢查膠封是否良好,，特別是動密封圈,，定期給動密封處加上真空脂。

　　4,、定期檢查電氣元件,，清除灰塵，更換燒壞的元器件,。

　　5,、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈,，以免造成越來越難洗的現(xiàn)象,。烘干后再鍍膜，頭一爐應比原來延長四倍時間才鍍膜。

　　6,、定期更換擴散泵油,，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1X102Pa,，擴散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后,，方可進行加熱或充大氣進行拆卸，否則會產(chǎn)生傷害人的嚴重后果,。