真空鍍碳儀為SEM,、TEM,、STEM、EDS/WDS,、EBSD和微探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜技術(shù),。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，所占空間小,。樣品室直徑150mm,，可快速抽真空進行鍍膜處理，處理周期約10分鐘,。高真空條件下使用超純的碳棒為嚴格的高分辨掃描電鏡,、透射電鏡、EBSD及探針分析提供高質(zhì)量的鍍膜處理,。組件設(shè)計方式可方便地對不同優(yōu)化條件下的各種應(yīng)用進行切換,。
真空鍍碳儀操作流程：
1、連接電源并打開主機（POWER）。
2,、等綠燈亮后,，再等3~5分鐘再調(diào)節(jié)電壓（4V）和時間（6s）。
3,、打開主機背面的小開關(guān),，調(diào)整轉(zhuǎn)速在3~4檔，并設(shè)定電壓和時間,。
4,、打開測厚儀并使其歸零。
5,、按START鍵開始噴碳,。
6、實驗結(jié)束先停止設(shè)備轉(zhuǎn)動,，并先關(guān)掉設(shè)備背面小開關(guān),。
7、再關(guān)POWER,。
8,、關(guān)機后打開玻璃罩上蓋，等其降到實溫之后再將其蓋好,。
使用后的必要維護：
1、為保證真空鍍膜設(shè)備有清潔的工作環(huán)境,，滑閥泵排出的氣體必須用管道將它排出工作房之外,，因為從滑閥泵排出的氣體含有很多微小的油霧會污染被鍍的工件，嚴重影響膜層的質(zhì)量,。
2,、平時整個系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體,，不要使真空室長期暴露在大氣中,。
3、經(jīng)常檢查膠封是否良好,，特別是動密封圈,，定期給動密封處加上真空脂。
4,、定期檢查電氣元件,，清除灰塵，更換燒壞的元器件,。
5,、定期清潔真空室并盡量抹干，每次都*洗干凈，以免造成越來越難洗的現(xiàn)象,。烘干后再鍍膜,，頭一爐應(yīng)比原來延長四倍時間才鍍膜。
6,、定期更換擴散泵油,，更換真空泵及羅茨泵油。更換擴散泵油前一定要確認真空度是否低于1X102Pa,，擴散泵里面的油溫是否*冷卻到常溫狀態(tài)后,，方可進行加熱或充大氣進行拆卸，否則會產(chǎn)生傷害人的嚴重后果,。
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