表面形貌儀是一款便攜式表面形貌測量儀,采用的白光共聚焦技術(shù),,可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,,具有測量精度高,速度快,,重復(fù)性好的優(yōu)點,,該儀器的測量探頭可以任意旋轉(zhuǎn),適合精密測量 不可移動樣品表面形貌,,同時適合進行野外測試,。
本產(chǎn)品是利用白光點光源,光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差,,不同波長的光分開后入射到被測樣品上,。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。根據(jù)準共聚焦原理,,探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光,,從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標,,即X-Z坐標后以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標,。后將采集的三維坐標數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進行各種表面參數(shù)的分析。

應(yīng)用領(lǐng)域:
用于太陽能電池測量,;
用于半導體晶圓測量,;
用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測量;
用于機械部件的計量,;
用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量,。
產(chǎn)品特性:
1、采用白光共聚焦色差技術(shù),,可獲得納米級的分辨率,;
2、測量具有非破壞性,,測量速度快,度高,;
3,、測量范圍廣,可測透明,、金屬材料,,半透明、高漫反射,,低反射率,、拋光,、粗糙材料;
4,、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面,;
5、不受樣品反射率的影響,;
6,、不受環(huán)境光的影響;
7,、測量簡單,,樣品無需特殊處理。
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