表面形貌儀可用于物體表面三維形貌和變形測(cè)量,。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠(yuǎn)距離顯微成像鏡頭,，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時(shí)滿足細(xì)觀及宏觀的測(cè)量要求,。該儀器不僅可用于微電子,、生物、微機(jī)械等微細(xì)結(jié)構(gòu)的形貌及變形測(cè)量,，也可用于混凝土結(jié)構(gòu),、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測(cè)量。適用于科研院所,、大專院校,、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室、車間,。
使用優(yōu)勢(shì)：
表面形貌儀是一款高速的三維形貌儀,，Zui高掃描速度可達(dá)1m/s，采用白光共聚焦技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試,，具有測(cè)量精度高，速度快,，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn),，該儀器可用于測(cè)量大尺寸樣品或質(zhì)檢現(xiàn)場(chǎng)使用。
產(chǎn)品特性：
1,、采用白光共聚焦色差技術(shù),，可獲得納米級(jí)的分辨率。
2,、測(cè)量具有非破壞性,，測(cè)量速度快，精確度高,。
3,、測(cè)量范圍廣,，可測(cè)透明、金屬材料,，半透明,、高漫反射，低反射率,、拋光,、粗糙材料。
4,、尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面,。
5、不受樣品反射率的影響,。
6、不受環(huán)境光的影響,。
7,、測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無需特殊處理,。
1,、掃描電子顯微鏡：掃描電子顯微鏡利用聚焦得非常細(xì)的電子束作為電子探針。當(dāng)探針掃描被測(cè)表面時(shí),，二次電子從被測(cè)表面激發(fā)出來,，二次電子的強(qiáng)度與被測(cè)表面形貌有關(guān)，因此利用探測(cè)器測(cè)出二次電子的強(qiáng)度,，便可處理出被測(cè)表面的幾何形貌,。
2、機(jī)械探針式測(cè)量：探針式輪廓儀測(cè)量范圍大,，測(cè)量精度高,，但它是一種點(diǎn)掃描測(cè)量，測(cè)量費(fèi)時(shí),。機(jī)械探針式測(cè)量方法是開發(fā)較早,、研究充分的一種表面輪廓測(cè)量方法。它利用機(jī)械探針接觸被測(cè)表面,，當(dāng)探針沿被測(cè)表面移動(dòng)時(shí),，被測(cè)表面的微觀凹凸不平使探針上下移動(dòng)，其移動(dòng)量由與探針組合在一起的位移傳感器測(cè)量,，所測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)適當(dāng)?shù)奶幚砭偷玫搅吮粶y(cè)表面的輪廓,。機(jī)械探針是接觸式測(cè)量，易損傷被測(cè)表面,。
3,、光學(xué)探針式測(cè)量：光學(xué)探針式測(cè)量方法原理上類似于機(jī)械探針式測(cè)量方法,，只不過探針是聚集光束。根據(jù)采用的光學(xué)原理不同,，光學(xué)探針可分為幾何光學(xué)原理型和物理光學(xué)原理型兩種,。幾何光學(xué)探針利用像面共軛特性來檢測(cè)表面形貌,，有共焦顯微鏡和離焦檢測(cè)兩種方法：物理光學(xué)探針利用干涉原理通過測(cè)量程差來檢測(cè)表面形貌,，有外差干涉和微分干涉兩種方法,。光學(xué)探針是非接觸測(cè)量,，但需要一套高精度的調(diào)焦系統(tǒng),。
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