表面形貌儀采用的白光共聚焦技術(shù),，Zui高掃描速度可達(dá)1m/s,，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高,，速度快,，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，測量不受樣品反射率和光的影響,，測量簡單,，可用于測量大尺寸樣品，如透明,、金屬材料,，半透明、高漫反射,，低反射率,、拋光、粗糙材料等,，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料,、太陽能電池、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā),。
測量原理：
低相干白光同時照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測器接收,，由于探測器直接與信號處理芯片（Smart Pixel技術(shù)）連接,，所以陣列上每個像素點(diǎn)的信號都在芯片中完成鎖相放大，背景信號補(bǔ)償和結(jié)果計算輸出,，成像于計算機(jī)就實現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測量。
在工業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域：
食品安全在線檢測,。
微電子集成電路表面形貌在線檢測,。
印刷電路板品質(zhì)檢測。
零件器件表面劃痕損傷檢測,。
微機(jī)械精加工質(zhì)量控制,，如鐘表，微機(jī)械器件等。
電子產(chǎn)品零件在線監(jiān)控,，如手機(jī),，筆記本電腦，平板等,。
微流體器件三維形貌檢測,。
在線檢測設(shè)備集成。
證件防偽,，安檢,。
技術(shù)特點(diǎn)：
1、每秒一百萬張二維圖像,。
2,、無損表面形貌檢測和分析。
3,、高精度在線/離線檢測,。
4、模塊化設(shè)計,，超高集成靈活性,。
5、無需苛刻的工作環(huán)境（振動,，噪聲,，溫度等）。
6,、可應(yīng)用于科研和工業(yè)領(lǐng)域,。
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