上海美析儀器有限公司
電感耦合等離子體質譜在半導體高純材料分析中的應用
檢測樣品：半導體高純材料
檢測項目：痕量雜質元素
方案概述：本文綜述了近十幾年來電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）在半導體行業(yè)高純材料分析方面的應用，分別討論了IC硅片表面,、光伏硅材料,、三氯氫硅,、四氯化硅,、高純試劑,、超純水,、高純氣等物質中痕量雜質元素的分析方法,。
本文綜述了近十幾年來電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）在半導體行業(yè)高純材料分析方面的應用，分別討論了 IC 硅片表面,、光伏硅材料,、三氯氫硅,、四氯化硅、高純試劑,、超純水,、高純氣等物質中痕量雜質元素的分析方法。
電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）是80 年代發(fā)展起來的新的檢測技術,，已成為當代蕞薔有力的元素分析手段之一，其以桌越的痕量分析能力,，被廣泛應用于多個領域,。對痕量分析要求最高的，莫過于在半導體工業(yè)中對高純材料的雜質分析,，本文對近十幾年來電感耦合等離子體質譜在半導體工業(yè)高純材料方面的分析應用做一綜述,，分別討論了IC硅片表面、光伏硅材料,、三氯氫硅,、四氯化硅、高純試劑,、超純水,、高純氣等物質中痕量雜質元素的分析方法。
相關產(chǎn)品清單
溫馨提示：
1.本網(wǎng)展示的解決方案僅供學習,、研究之用,，版權歸屬此方案的提供者，未經(jīng)授權,，不得轉載,、發(fā)行、匯編或網(wǎng)絡傳播等,。
2.如您有上述相關需求,，請務必先獲得方案提供者的授權。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布,，信息內(nèi)容的真實性,、準確性和合法性由上傳企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任,。
最新解決方案
該企業(yè)的其他方案
業(yè)界頭條
- Seal檢查機改造中標結果公告
-
項目名稱：第8.5代薄膜晶體管液晶顯示器件（TFT-LCD) 120K擴產(chǎn)設備采購項目，項目編號：4...
