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　　挑戰(zhàn)

　　很多工藝使用無機酸作為重要原料。在確定特定應用的適用性時,，尤其是在確定該應用對工藝和產(chǎn)品的影響時,，準確評估酸的質(zhì)量是至關重要的。

　　酸中的可溶性雜質(zhì)會影響生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量,。過量的有機污染物帶來以下問題：

　　•生產(chǎn)工藝效率低下

　　•產(chǎn)品被污染

　　•生產(chǎn)批次不合格

　　•工藝和產(chǎn)品偏差

　　化工行業(yè)都需要確定和控制無機酸的質(zhì)量,。這些行業(yè)包括：原料藥物（API，Active Pharmaceutical Ingredient）,、化肥,、半導體加工,、化學衍生物,。酸用于離子交換樹脂再生，也可以是產(chǎn)品配方的原料,。

　　在半導體行業(yè)中,，硫酸用于晶圓蝕刻工藝。酸的純度和潔凈度對生產(chǎn)至關重要,，這就要求硫酸供應商對產(chǎn)品批次進行污染控制,，以滿足工藝要求。很多行業(yè)在電鍍工藝中使用硫酸銅,。為了提高化學品的性能,，生產(chǎn)商添加有機基體的勻染劑和增白劑。了解添加劑的用量及其潛在的分解物，有助于控制產(chǎn)品質(zhì)量和工藝,。

　　解決方案

　　由于有機污染物的種類繁多,，用總有機碳（TOC，Total Organic Carbon）作為評估酸質(zhì)量的參數(shù)不失為檢測樣品雜質(zhì)的有效方法,。但是,，分析儀器必須具有酸基體的化學耐受性，并能在低pH值下有效氧化有機碳,，這樣才能得到正確的檢測結(jié)果,。Sievers InnovOx ES實驗室型TOC分析儀采用超臨界水氧化（SCWO，Supercritical Water Oxidation）技術來檢測酸溶液中的TOC的ppm和ppb含量,。事實證明,，SCWO技術能夠?qū)α姿帷Ⅺ}酸,、硝酸,、硫酸進行精準的TOC定量分析。

　　技術

　　Sievers InnovOx實驗室型分析儀采用SCWO技術,，將有機碳分子氧化成CO2,，然后用非分散紅外（NDIR，Non-dispersive Infrared）檢測技術進行精確定量,。在使用SCWO技術時,，先在水的臨界點以上對樣品進行加熱和加壓。在一定條件下（375?C和220巴）,，水成為超臨界流體,，水中的有機物高度可溶，而無機鹽不溶,。這就提高了氧化效率,，能夠精確檢測腐蝕性和復雜基質(zhì)中的TOC，甚至濃酸中的TOC,。

　　硫酸中含有來自其自身生產(chǎn)過程的各種雜質(zhì),，包括有機污染物。這些污染物即使含量極低,，也會給要求使用高純度原料的工藝帶來風險,，尤其是給半導體和電化學沉積工藝帶來風險。因此,，為了優(yōu)化工藝操作,、提供產(chǎn)量，必須對酸的質(zhì)量進行定量分析,。

　　硫酸（H2SO4）

　　在測試中,，向H2SO4中加入不同濃度的鄰苯二甲酸氫鉀（KHP）,，以此來評估Sievers InnovOx實驗室型分析儀的分析硫酸中TOC的能力。將96%濃度的ACS級硫酸稀釋到24%,，然后分別加入0.2,、0.5和2 ppm TOC的KHP，進而證明了分析儀的分析能力,。

　　分析在0-100 ppm范圍內(nèi)進行,，由于樣品的pH值適用于TOC分析，故無需使用酸劑,。10%過硫酸鈉氧化劑足以分析此范圍的TOC,。

　　表1中的分析數(shù)據(jù)包括加標濃度、測自空白24%硫酸溶液的TOC,、實測TOC,、以及回收TOC的含量和百分比?；厥盏腡OC值等于實測TOC減去空白TOC,。表中的數(shù)據(jù)證明了分析儀能夠定量分析濃酸溶液中的低濃度TOC。當TOC從2 ppm降至0.2 ppm時,，回收率百分比就會從100%偏離,，這主要是因為加標濃度（200 ppb）接近空白濃度（180 ppb）。在這種低濃度下,，空白濃度或儀器基線的波動會導致結(jié)果的波動,。

　　第二項測試分析了各種濃度硫酸的TOC回收率。將1 ppm TOC的KHP分別加到1,、5,、10和24%的H2SO4中，檢測數(shù)據(jù)如表2所示,?；厥盏腡OC值等于實測TOC減去空白TOC。

　　5-24%H2SO4的1 ppm TOC回收率非常好,，但1%H2SO4的TOC回收率就偏離了45%,。當TOC濃度接近空白TOC濃度時，空白檢測值的波動會顯著影響到計算的TOC結(jié)果,。

　　測試還評估了Sievers InnovOx實驗室型分析儀分析24%ACS級硫酸中0.1-0.5 ppm范圍TOC的能力,。分別將100、200,、300 ppb KHP加到ACS級硫酸中，檢測結(jié)果如表3所示,。

　　檢測結(jié)果顯示了預期的增長趨勢,。100 ppb加標顯示了50 ppb的增長,，200 ppb加標顯示了120 ppb的增長，300 ppb加標顯示了230 ppb的增長,。顯然,，分析儀能夠檢測出410 ppb基線上的50 ppb的增長，這表明分析儀的靈敏度適用于分析如此低的濃度,。對硫酸進行高靈敏度分析的限制因素是基體中的基線TOC,。同任何其它分析一樣，基線值附近的結(jié)果容易變化,。人們都知道,，H2SO4的純度低于同樣濃度的其它無機酸（如HCl、HNO3等）的純度,，因此不難預料,，純品H2SO4中含有一定量的有機雜質(zhì)。

　　結(jié)論

　　Sievers InnovOx實驗室型分析儀能夠精準地檢測出濃度最高為24%的硫酸中的TOC,。最高2 ppm KHP的實測回收率具有出色的精確性和準確性,。空白檢測值的大小和穩(wěn)定性是對H2SO4進行高靈敏度TOC分析的限制因素,。分析儀的靈敏度（檢測限LOD=水中的50 ppb）足以區(qū)分100,、200和300 ppb TOC。分析儀在整個測試過程中表現(xiàn)出較佳的耐用性,，且能耐受H2SO4基質(zhì),，無降解跡象。

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