珀金埃爾默企業(yè)管理（上海）有限公司
使用 NexION 300S / 350S ICP-MS 測定半導體行業(yè)常用有機溶劑中的雜質(zhì)
檢測樣品：異丙醇（IPA） 丙二醇甲醚乙酸酯（PGMEA）
檢測項目：雜質(zhì)
方案概述：本應用指南展示了NexION300SICP-MS抗干擾的能力,，僅憑一次分析,，便可在熱等離子體條件下，輕松地測量IPA和PGMEA中的痕量雜質(zhì),，且適用于所有分析物,。是在一次分析中，可同時使用標準和反應兩種模式,。
半導體行業(yè)中常用的兩種有機溶劑分別是異丙醇（IPA）和丙二醇甲醚乙酸酯（PGMEA）,。IPA 常用于清潔硅片，PGMEA 則用作光阻劑的稀釋劑或剝離劑,。存儲器中如有污染物,，會對其可靠性產(chǎn)生不利影響，因此兩者溶劑都必須加以分析,，以檢查是否出現(xiàn)痕量金屬污染,。SEMI 標準 C41-0705 規(guī)定，在高純度 4 級 IPA 中,，每種元素的污染限值不超過 100 ppt,。
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）能夠快速測定各種化工過程中的痕量分析物（ng/L 或萬億分之一），已成為質(zhì)量控制中*的分析工具,。然而,，在直接對有機溶劑展開分析前，當務之急是解決某些可能存在問題,，如粘度和揮發(fā)性,、進樣組件的兼容性、碳在錐體接口上的沉積,、基質(zhì)衍生的多原子干擾以及碳含量導致的基質(zhì)抑制效應,。配備制冷裝置的霧化室有助于降低蒸汽壓，且能優(yōu)化揮發(fā)性有機溶劑的樣品提升速率,。通過在霧化室和矩管之間的中心管氣流中加入少量氧氣,，可以改善碳在錐體接口上的沉積。
盡管冷等離子體已被證實可有效降低氬氣方面的干擾,，但它甚至比熱等離子體更容易抑制基質(zhì),。此外，在低等離子能下,，其他多原子干擾會*形成,，而在熱等離子體條件下則不會出現(xiàn)這種情況,。經(jīng)證實,，融合了多極和非反應性氣體的碰撞池技術,，可有效降低多原子干擾。然而,，動能上的偏差會導致靈敏度的喪失，所以在分析 ng/L 水平時,，這是一個問題,。反應模式是另一種技術，使用了反應氣體,，如 NH3，其可選擇性地與多原子干擾發(fā)生反應,，搭配四級桿質(zhì)量篩選器使用可以創(chuàng)造動態(tài)帶通，防止生成不必要的離子副產(chǎn)物,，進而有效消除多原子干擾,，同時又不影響分析物的信號。
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