EMS500 離子濺射鍍膜儀(通用儀器)
- 公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
- 品牌
- 型號 EMS500
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2017/5/17 15:45:11
- 訪問次數(shù) 2805
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離子濺射鍍膜儀(通用儀器)簡介:
什么是離子濺射鍍膜,?
在陽極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓,,當(dāng)出現(xiàn)輝光放電時,陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標(biāo)材料,,這個過程就叫離子濺射,。其結(jié)果是濺射出來的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽極上)表面形成一層薄膜,均勻分布在樣本的表面,。
陰極材料通常使用金,,習(xí)慣稱之為金靶。
EMS550離子濺射鍍膜儀(通用儀器)
EMS 550具有旋轉(zhuǎn)樣品臺,,可傾斜,,適合各種樣品。參數(shù)可預(yù)設(shè),,全自動控制保證獲得準(zhǔn)確的鍍層厚度,。 低電壓濺射、冷濺射,、超細顆粒等功能的使用,,大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm(6英寸),,非常方便裝載及移走樣品,。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶(可選),??蛇x靶材包括金/鈀,鉑/鈀和鉑,。 各種功能都集中設(shè)計在儀表板上,,使用方便,滿足不同學(xué)科的用戶使用要求,。 濺射參數(shù)可預(yù)設(shè),,包括氣體放氣針閥(此閥為電磁閥),一旦設(shè)置,,就不需要再調(diào)節(jié),。濺射頭互鎖,系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件,。
本儀器為全自動操作,,可控制獨立的真空泵。
性能特征 2,、旋轉(zhuǎn)且可傾斜樣品臺 3,、全自動控制 4、低耗冷卻系統(tǒng),,無需冷卻樣本及樣品臺 5,、低壓濺射 6、高質(zhì)量鍍層厚度(2nm 金膜). 7,、可重復(fù)性能 8,、均勻沉積厚度(20nm或20埃) 9、微電子控制 10,、聚碳酸脂安全殼體 | ||||||||||||
性能參數(shù): 定購說明:
注:EMS500為EMS550的的手動型號(無旋轉(zhuǎn)樣品臺),其它參數(shù)均同,。 |