KOGANEI小金井FPD用電動CT泵

小金井FPD用電動CT泵詳細分析報告

一,、產(chǎn)品概述

小金井FPD用電動CT泵是日本KOGANEI（小金井）公司專為平板顯示器（FPD）制造設計的精密泵,，主要用于液晶（LCD）、等離子顯示板（PDP）,、有機EL等基板用狹縫涂布機中,，實現(xiàn)光刻膠、純水及藥液的高精度均勻涂抹,。其核心優(yōu)勢在于：

高精度定量吐出：通過步進電機驅(qū)動,，實現(xiàn)流量精準控制，吐出量重復精度達±1% F.S.,。

低發(fā)塵與除泡性：接液部采用氟樹脂（PTFE）材料,，無滑動結(jié)構(gòu)，減少粒子產(chǎn)生,，適合無塵環(huán)境,。

結(jié)構(gòu)簡單可靠：無需日常維護，適用于半導體晶片微細化工藝,。

二,、技術(shù)參數(shù)

參數(shù)規(guī)格

類型電動CT泵（F-EPT系列），如F-EPT30型,、F-EPT60型等

最大吐出量30ml,、60ml,、100ml、200ml,、300ml（可根據(jù)基板尺寸選擇）

最大吐出壓力0.05MPa至0.15MPa（具體取決于型號）

吐出量精度±1% F.S.（滿量程）

使用流體光刻膠,、純水、藥液（不可燃性物質(zhì)）

驅(qū)動方式步進電機驅(qū)動,，配套控制器單元實現(xiàn)流量控制

接液部材料氟樹脂（PTFE）,，耐腐蝕且低發(fā)塵

三、應用場景

FPD制造核心工藝

狹縫涂布機：用于基板表面光刻膠的均勻涂抹,，確保涂膜厚度一致性,。

微細化半導體晶片：適配下一代半導體工藝，滿足高精度流體控制需求,。

環(huán)境要求

潔凈室環(huán)境：需在無塵車間使用,，避免塵埃污染影響涂布質(zhì)量。

流體限制：嚴禁使用可燃性物質(zhì),，防止安全隱患,。

KOGANEI小金井FPD用電動CT泵