YQL 高真空CVD管式爐
- 公司名稱 上海勇傾實驗儀器有限公司
- 品牌
- 型號 YQL
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數(shù) 812
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| 產(chǎn)品型號： | YQL1200高真空CVD管式爐 | ||||||
| 產(chǎn)品簡介： | 該系統(tǒng)由開啟式真空管式爐,、多路氣體混合系統(tǒng)、高真空系統(tǒng)（機械泵+分子泵）組成,。主要用于產(chǎn)品的氣氛燒結(jié),、真空燒結(jié)、鍍膜,、化學(xué)氣相沉級（CVD）工藝等,。 | ||||||
| 主要特點： | 設(shè)備采用廈門宇電儀表，可全程電腦控制和設(shè)置參數(shù),、并能繪制曲線保存數(shù)據(jù),，具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高（采用6組PID控制,，低、中,、高溫都能控制在+/-1℃）,、采用進口Canthal電阻絲，溫差均衡,，使用壽命長,，保溫效果好、溫度范圍大,、可通氣氛抽真空,，采用620分子泵，抽氣速率大,，20分鐘內(nèi)能夠抽到10-4Pa等特點,。 | ||||||
| 高溫爐參數(shù)： | 爐管尺寸：Φ60×1000mm；Φ80×1000mm,； | ||||||
| 氣路系統(tǒng)參數(shù)： | 工作電壓：185-245V/50HZ
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| 真空系統(tǒng)參數(shù)： | 1機械泵:抽氣速率：6 L/S | ||||||
| 產(chǎn)品證書： | CE認證 |
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FJ-620分子泵機組
FJ-620/FJ-500F型系列復(fù)合分子泵機組是由F160/620系列各性能復(fù)合分子泵或FF-160/500F系列復(fù)合分子泵，前級抽氣泵,，隔斷放氣閥,，前級管路，斷水保護器,，分子泵電源,，控制電源等組裝于機架上而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。安裝方便,，操作簡單,，易于聯(lián)接，性能可靠,，可廣泛用于表面分析,，加速器技術(shù)，半導(dǎo)體設(shè)備,，等離子體技術(shù),，電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。
FJ-620分子泵機組技術(shù)性能：
| 產(chǎn)品型號 | FJ-620 | ||
| 進氣口法蘭 | DN160LF | DN160CF | |
| 抽氣速率L/S（對空氣） | 600 | ||
| 壓縮比 N2 H2 | ＞109 6×103 | ||
| 建議啟動壓強 | ＜100 Pa | ||
| 極限壓強（Pa） | 6×10-6 | 6×10-7 | |
| 排氣口法蘭 | YQ25/YQ40 | ||
| 使用軸承 | 精密機械軸承 | ||
| 輸入電壓頻率（V/Hz） | 380±20/50 | ||
| 環(huán)境溫度（℃） | 0～40 | ||
| 前級泵型號 | RVP-6 | ||
| 額定工作轉(zhuǎn)數(shù)（rpm） | 42,，300 | ||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||
| 冷卻水壓力（MPa） | 0.1-0.2 | ||
| 冷卻水溫度（℃） | <25 | ||
| 安裝方式 | 任意 | ||
| 重量（公斤） | 52 | ||
| 長×寬×高 | 730×520×700 | ||
| 重量 | 117 | ||
分子泵機組配件:
| FJ620分子泵機組 | 臺 | 1 |
| CF150/CF35/YQ40過渡腔 | 件 | 1 |
| YQ40高真空手動擋板閥 | 臺 | 1 |
| YQ40-1000波紋管 | 根 | 1 |
| ZDF-11A1復(fù)合真空計 | 臺 | 1 |
| KT40/16變徑三通 | 件 | 1 |
| YQ40卡箍 | 套 | 3 |
| YQ16卡箍 | 套 | 1 |
| CF35無氧銅墊圈 | 個 | 1 |
YF-3三路供氣（混氣）系統(tǒng)
一,、概述
1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓,，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口,，再經(jīng)過浮子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐,，再進入爐子進氣口,，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門,，一端連接真空泵,，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表,，壓力表顯數(shù)盤與浮子流量計安裝在同一面板上,。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證,。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計,，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好,。
5． 所有接頭采用卡套連接，氣密性好,，耐壓高,。
二,、技術(shù)參數(shù)：
氣路通道： 3
氣路流量控制：采用浮子流量計。
接 口： Φ6
顯 示： 刻度
工作環(huán)境溫度: 5~45℃
流量控制器： 浮子流量計 （可以根據(jù)客戶的要求定,，也可以采用質(zhì)子流量控制器,，質(zhì)子流量控制器的參數(shù)請查看D007-7B）
10-10 ml/ min 2ml/ 格
10-100ml/min 2ml/ 格
10-100 ml/ min 2ml/ 格
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