美國Entegris   在線PTFE氣體過濾器 北京

美國Entegris   在線PTFE氣體過濾器 北京

Wafergard® MAX 在線 PTFE 氣體過濾器,，這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容,，可在超純氣體應(yīng)用以及一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供的顆粒過濾。

PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色,，專為高流量和低壓差應(yīng)用而設(shè)計,，適用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧

經(jīng)過預(yù)處理,，可快速啟動（僅限銀牌）,，應(yīng)用Wafergard® MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用與所有類型的半導(dǎo)體工藝氣體兼容，與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容

產(chǎn)品規(guī)格材料

 濾芯 由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜   其外殼 電解拋光低硫 316L 不銹鋼外殼 

下游清潔度 粒子 低于 0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/英尺）3） 大于 0.01 μm 

  揮發(fā)物（銀） <10 ppb H2O 和 O2.低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb） 

去除等級 ≥0.0015 微米   內(nèi)飾表面光潔度 WGMX （銅牌） MB XXXX ≤20 μin Ra 

  WGMX （銀牌/銅牌 Plus） MS XXX/XXX ≤7 μin Ra   氦氣泄漏等級 合格 2 x 10-10ATM-CC/秒 

  測試 1 x 10-9ATM-CC/秒 

工作條件  最大入口壓力  銀級和銅級以及 1?4“ 和 1?2” VCR 兼容接頭：7.0 MPa（70 bar,，1015 psig）® 

 青銅 1?4“ 和 1?2” VCR 兼容接頭：6.0 MPa（60 bar,，870 psig） 

 青銅和青銅加上 1?4“,、3?8” 和 1?2“ 世偉洛克兼容接頭：6.0 MPa（60 bar，870 psig）® 

  最大正向壓差 7 巴 （102 psid）   最大反向壓差 2.5 巴（36 磅/平方英寸） 最高工作溫度 120°C （248°F） 

流量等級 請參閱性能數(shù)據(jù)   保證 青銅 1 年   銀 3 年 

顆粒截留 對所有顆粒的去除率大于 99.9999999% （9 LRV）（以具穿 透力的顆粒尺寸為參考） 

Wafergard®MAX在線PTFE氣體過濾器