在半導(dǎo)體制造與顯示面板等精密工業(yè)領(lǐng)域,，對(duì)晶圓級(jí)樣品進(jìn)行高效、精準(zhǔn)的檢測(cè)至關(guān)重要,。Miracle Inspection系列晶圓檢測(cè)顯微鏡,，該系列專為8/12英寸晶圓設(shè)計(jì)，深度融合了蔡司光學(xué)技術(shù)與創(chuàng)新的模塊化理念,，更集成了激光缺陷標(biāo)記功能,，旨在為您的品質(zhì)管控帶來革命性的提升。

Miracle Inspection系列晶圓檢測(cè)顯微鏡基于蔡司的光學(xué)基礎(chǔ),，采用了高度靈活的模塊化設(shè)計(jì),。其核心在于電動(dòng)位移臺(tái)與各個(gè)功能模塊的精密協(xié)同。這種設(shè)計(jì)不僅實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)樣品的自動(dòng)化上下料,，極大地提升了工作效率,，更能在多個(gè)維度上對(duì)樣品進(jìn)行精細(xì)的加工選擇與全面的自動(dòng)檢測(cè)。無論是復(fù)雜表面的微觀形貌,，還是潛在缺陷的蛛絲馬跡,，它都能高質(zhì)量地捕捉并分析，精準(zhǔn)滿足客戶的嚴(yán)苛需求。檢測(cè)流程結(jié)束后,，系統(tǒng)支持一鍵式自動(dòng)生成詳盡的測(cè)試報(bào)告,，確保了整個(gè)工作流程的高度一致性與可追溯性，為質(zhì)量管控提供了堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)支撐,。

為了確保檢測(cè)的全面性與便捷性,，Miracle Inspection系列顯微鏡提供了豐富的功能模塊供您選擇：

精準(zhǔn)定位：XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

提供8英寸晶圓適用的XY手動(dòng)/電動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)模組，定位精度高達(dá)≤2 μm,，行程達(dá)205 mm * 205 mm,。離合器手柄設(shè)計(jì)，兼顧了快速手動(dòng)移動(dòng)與精密電動(dòng)定位的需求,。

微米級(jí)聚焦：Z軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

Z軸平臺(tái)同時(shí)配備電傳手輪和精密碼盤,，微調(diào)精度可達(dá)≤1 μm,，行程≥36 mm,，確保在垂直方向上的精確對(duì)焦。

成像：物鏡模組

采用蔡司原裝的手動(dòng)/電動(dòng)物鏡切換裝置,，可選配EpiPlan消色差物鏡,、EPN半復(fù)消色差物鏡以及EPA復(fù)消色差物鏡，滿足不同分辨率與景深的需求,。

靈活照明：光源模組

提供可選的5W或10W LED透射式光源,，穩(wěn)定可靠，壽命長(zhǎng),，為樣品提供均勻充足的照明,。

兼容性強(qiáng)：晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺(tái)（支持4英寸、6英寸及8英寸晶圓片）,，且保留透射光路,。載物臺(tái)可拆卸設(shè)計(jì)，進(jìn)一步擴(kuò)展了其應(yīng)用于液晶面板等其它樣品檢測(cè)的可能性,。

多視角觀察：成像觀察模組

可適配蔡司Axiocam系列相機(jī)及?？低曄盗邢鄼C(jī)?？蛇x配蔡司目鏡,。提供基礎(chǔ)的明場(chǎng)/暗場(chǎng)觀察方式，并可選配微分干涉,、熒光和偏光等高級(jí)觀察功能,，呈現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)。

人機(jī)交互：遠(yuǎn)程控制手柄

集成物鏡切換,、照明光強(qiáng)（支持隨物鏡/觀察方式自動(dòng)調(diào)節(jié)）,、反射/透射照明切換、電傳Z軸聚焦、XY運(yùn)動(dòng)遙感,、缺陷標(biāo)記及主動(dòng)對(duì)焦快速確定等多種功能按鈕,，操作便捷高效。

實(shí)時(shí)清晰：主動(dòng)對(duì)焦模組（可選）

可選配主動(dòng)對(duì)焦模組,，即使在50×高倍物鏡下,，也能實(shí)現(xiàn)被觀察區(qū)域的實(shí)時(shí)自動(dòng)對(duì)焦，確保圖像始終清晰銳利,。

缺陷可視化：缺陷標(biāo)記模組（可選）

可選配缺陷標(biāo)記模組,，能夠?qū)崟r(shí)對(duì)樣品上的缺陷部位進(jìn)行激光標(biāo)記，直觀醒目,，便于后續(xù)分析處理,。

自動(dòng)化流程：晶圓搬運(yùn)模組（可選）

可選配晶圓搬運(yùn)模組，輕松實(shí)現(xiàn)晶圓片的自動(dòng)上下料,，將檢測(cè)流程推向更高水平的自動(dòng)化,。

Miracle Inspection系列搭載激光缺陷標(biāo)記的8/12英寸晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡，憑借其蔡司光學(xué)品質(zhì),、模塊化靈活性,、自動(dòng)化操作以及全面的檢測(cè)能力，是您在晶圓檢測(cè)領(lǐng)域值得信賴的伙伴,。它不僅能高質(zhì)量地完成檢測(cè)任務(wù),，更能通過智能化的報(bào)告生成與流程追溯，助您輕松應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛的質(zhì)量挑戰(zhàn),。