智能 易用 準(zhǔn)確  晶圓檢測(cè)顯微鏡

搭載自動(dòng)對(duì)焦和激光缺陷標(biāo)記的8/12吋晶圓級(jí)檢測(cè)顯微鏡

為半導(dǎo)體制造,、面板顯示以及光伏等工業(yè)領(lǐng)域提供多維度的自動(dòng)檢測(cè)方案

智能 易用 準(zhǔn)確  晶圓檢測(cè)顯微鏡在基于蔡司光學(xué)的基礎(chǔ)上，采用了模塊化的設(shè)計(jì)方式,。通過(guò)電動(dòng)位移臺(tái)和各個(gè)功能模塊之間的相互配合,，在實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓級(jí)樣品自動(dòng)上下料的同時(shí)，可在多個(gè)維度上對(duì)其進(jìn)行加工選擇和自動(dòng)檢測(cè),，從而高質(zhì)量的完成客戶的需求,，并一鍵式自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，實(shí)現(xiàn)整套工作流程的一致性朔源,。

高效的工作模式

Miracle Inspection系列顯微鏡提供多種電動(dòng)選件,，通過(guò)硬件和軟件算法之間的相互配合，使得顯微鏡能夠在不同的工作模式下,，高效地實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品區(qū)域的大圖拼接,、景深融合以及微區(qū)加工等操作，從而讓客戶在極短的時(shí)間內(nèi)完成對(duì)待測(cè)樣品多個(gè)維度下的檢測(cè)和加工,。

景深融合

使用景深融合的技術(shù),，通過(guò)圖像處理的算法把待測(cè)樣品不同焦平面的圖像融合為單張全視野清晰圖像,，從而直觀得獲取待測(cè)樣品的三維細(xì)節(jié)。除此之外,，搭配AI算力模型,，融合后的圖像可直接通過(guò)模型進(jìn)行目標(biāo)識(shí)別和分類，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)物的自動(dòng)分析,，在提高整體的檢測(cè)效率和準(zhǔn)確性的同時(shí),，可以大幅減少人為操作所帶來(lái)的誤差。

大圖拼接

使用大圖拼接的技術(shù),，通過(guò)將多個(gè)相鄰視場(chǎng)的顯微圖像進(jìn)行無(wú)縫拼接為單張高分辨率的全景圖像,，從而結(jié)合低倍導(dǎo)航圖與高倍率細(xì)節(jié)圖，在消除視野盲區(qū)的同時(shí),，實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀的多層級(jí)研究,。除此之外，拼接得到的大圖可以作為導(dǎo)航圖進(jìn)行區(qū)域選擇,，通過(guò)搭配激光缺陷標(biāo)記模塊,，可實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品視野外區(qū)域的精確加工和激光修復(fù)，提升整個(gè)工作流程中的工作效率,。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案

Miracle Inspection系列顯微鏡旨在為客戶提供簡(jiǎn)單易用的操作環(huán)境,，通過(guò)集成符合人體工學(xué)的觀察目鏡、遠(yuǎn)程控制手柄和強(qiáng)大的操作軟件等配置,，使得客戶在使用時(shí)無(wú)需自行開(kāi)發(fā)或整合所有模塊,，就可以完成對(duì)整個(gè)晶圓級(jí)樣品的換樣、缺陷標(biāo)記,、數(shù)據(jù)分析到輸出客戶體系報(bào)告的全流程任務(wù),，確保檢測(cè)結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)化與可重復(fù)性，以工程化的思維解決碎片化的需求,，使整個(gè)工作流程無(wú)縫銜接,，讓客戶聚集于業(yè)務(wù)決策而非技術(shù)細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)測(cè)量,，提供準(zhǔn)確數(shù)據(jù)

Miracle Inspection系列顯微鏡可提供多種測(cè)量方案,，通過(guò)搭配自動(dòng)對(duì)焦模組，可實(shí)時(shí)采集待測(cè)樣品多個(gè)維度下的信息,。在實(shí)時(shí)對(duì)樣品表面進(jìn)行特征線性尺寸,、角度、圓直徑,、矩形邊測(cè)量等基礎(chǔ)測(cè)量的同時(shí),，基于嵌入式處理單元搭建模型環(huán)境，從而實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)本地實(shí)時(shí)處理和模型訓(xùn)練,，避免數(shù)據(jù)傳輸或云端引入的延遲來(lái)進(jìn)行實(shí)時(shí)二維材料層數(shù)識(shí)別或者光學(xué)元器件的自動(dòng)分揀,，最終根據(jù)客戶導(dǎo)入的報(bào)告體系,，生成最終的檢測(cè)報(bào)告。

延續(xù)蔡司品質(zhì),，歷經(jīng)百年的光學(xué)質(zhì)量

整合ICCS光學(xué)優(yōu)勢(shì),，實(shí)現(xiàn)更好的光學(xué)成像效果 提供明場(chǎng)、暗場(chǎng),、DIC,、偏光以及熒光等多種方式來(lái)對(duì)樣品進(jìn)行觀察和檢測(cè)。

豐富的物鏡選項(xiàng)

蔡司物鏡提供的光學(xué)性能,，通過(guò)高分辨率圖像顯示微小特征結(jié)構(gòu)，無(wú)論是材料紋理還是結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié),，都能精準(zhǔn)呈現(xiàn),。 復(fù)消色差物鏡在消色差的同時(shí)，保證在400-700nm內(nèi)有更高透過(guò)率,，并且通過(guò)更高的數(shù)值孔徑實(shí)現(xiàn)更高的空間分辨率,，適合高精度量測(cè)任務(wù)。

智能快速的自動(dòng)對(duì)焦

Miracle Inspection系列顯微鏡可配置自動(dòng)對(duì)焦模塊,，通過(guò)660nm/780nm/808nm的反射 光源,、Z軸位移臺(tái)和高幀率觀測(cè)相機(jī)之間的高度協(xié)同性，能夠快速根據(jù)軟件算法確定樣品的聚焦平面并保持持續(xù)的追焦?fàn)顟B(tài),。這不僅解決了手動(dòng)調(diào)焦的諸多問(wèn)題,，更通過(guò)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)焦點(diǎn)的決策，為后續(xù)分析提供高質(zhì)量的輸入,，推動(dòng)科研與工業(yè)檢測(cè)進(jìn)入全自動(dòng)高保真時(shí)代,。

***支持所有Zeiss Axioscope系列顯微鏡升級(jí)此配件

0 5

智能高效的激光缺陷標(biāo)記

Miracle Inspection系列顯微鏡可配置激光缺陷標(biāo)記模塊，通過(guò)配備450nm和532nm的雙激光組合,，可以在顯微鏡的體系中將精準(zhǔn)檢測(cè)與物理標(biāo)識(shí)深度結(jié)合,，構(gòu)建“發(fā)現(xiàn)-標(biāo)記-處理”的閉環(huán)質(zhì)檢體系，在完成多種亞微米級(jí)激光應(yīng)用的同時(shí),，通過(guò)數(shù)據(jù)-物理空間的雙向映射,，為智能化制造提供可追溯的數(shù)字化孿生錨點(diǎn)。

導(dǎo)航圖預(yù)覽,、圖紙對(duì)比,、準(zhǔn)確定位

通過(guò)導(dǎo)航圖預(yù)覽功能，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu),，從而快速定位到感興 趣的區(qū)域,。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測(cè)尤為重要，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間,。

基于軟件中高級(jí)圖像分析能力,能夠?qū)⒕A的實(shí)際圖像與設(shè)計(jì)圖紙進(jìn)行實(shí)時(shí)對(duì)比,，方便操作人員快速且精確的識(shí)別出兩者的差異,。還可以憑借“激光標(biāo)記”功能，將需要改善的位置直接標(biāo)記出來(lái),，為下一步優(yōu)化參數(shù)和制造工藝提高便利,。

第三方兼容，實(shí)現(xiàn)晶圓自動(dòng)搬運(yùn)0

通過(guò)導(dǎo)航圖預(yù)覽功能,，操作人員可以迅速了解晶圓的整體布局和結(jié)構(gòu),，從而快速定位到感興趣的區(qū)域。對(duì)于大面積晶圓的精準(zhǔn)檢測(cè)尤為重要,，可以節(jié)省大量尋找特定區(qū)域的時(shí)間,。