
Scriber S200 型號設(shè)計注重用戶友好性,,可高效實現(xiàn)各種尺寸元件的切割分離(Singulation),操作流程簡化,,適配不同規(guī)格芯片的批量加工需求,。
設(shè)備具備即刻投入使用的特性,僅需最少培訓即可操作,。機身結(jié)構(gòu)堅固且無振動干擾,,確保劃片過程中芯片精度不受機械波動影響,適合對穩(wěn)定性要求高的半導(dǎo)體加工場景,。
通過集成視頻裝置實現(xiàn)垂直方向精準定位,,配備 JFP 十字準線與數(shù)字變焦功能:
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• Z 軸運動(角度可調(diào))
• 劃片力可調(diào)(5g 至 80g):恒定配重,可選配附加砝碼
• 金剛石刀具:角度與旋轉(zhuǎn)方向可調(diào)
• 刀具偏移量(帶 JFP 十字準線)
• 晶圓吸盤(適配 2 英寸至 8 英寸)
• 真空吸附固定
• 框架 / 環(huán)適配器
• 芯片尺寸:最小 100μm 見方,,最大 150mm×150mm
• 連續(xù)電動旋轉(zhuǎn)(可編程角度)
• 兩點旋轉(zhuǎn)對齊模式
• XY 工作臺:顯示精度 1μm,,定位精度 ±5μm
• 漸進式操縱桿配重運動控制
• 光學與放大倍率適配應(yīng)用場景
• 22 英寸 TFT 顯示器 + 超高清彩色相機
• 電子變焦 ×10
• LED 照明
• 可選功能:用于劃片工具檢測的攝像頭制程(CAMERA PROCESS)
• 7 英寸觸摸屏
• 步進索引與垂直間隔
• Y 軸劃片速度:0.1~100 mm / 秒
• 劃片長度可編程
• 重復(fù)劃片功能
• 劃片次數(shù)設(shè)置
• 元件編號記錄
• 觸底速度
• 劃片計數(shù)器
• 半導(dǎo)體材料:硅、LED 砷化鎵(GaAs)
• 陶瓷 / 玻璃材料:氧化鋁,、薄玻璃,、硼硅玻璃、藍寶石
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電源:100/230VAC 1 千瓦(寬電壓兼容,,適配全球多數(shù)地區(qū)電網(wǎng))
氣源壓力:80 磅 / 平方英寸(psi)(較前代提升 10psi,,驅(qū)動更穩(wěn)定)
真空系統(tǒng):100% 真空度,流量 15 升 / 分鐘(確保晶圓吸附牢固,,適用于薄至 50μm 的材料)
外形尺寸:650×820×1500 毫米(25×32×60 英寸)(緊湊型設(shè)計,,節(jié)省產(chǎn)線空間)
設(shè)備重量:70 公斤(便于移動部署,適合實驗室或中小批量產(chǎn)線)