化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>實(shí)驗(yàn)室廢物處理系統(tǒng)>TH-G3 天恒科儀 HDMS預(yù)處理系統(tǒng)
TH-G3 天恒科儀 HDMS預(yù)處理系統(tǒng)
參考價(jià) | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 天恒科儀(蘇州)光電有限技術(shù)公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) TH-G3
- 產(chǎn)地 蘇州市吳中區(qū)天鵝蕩路
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/26 10:44:25
- 訪問(wèn)次數(shù) 30
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主營(yíng)集成系統(tǒng),、探針臺(tái),、示波器、邏輯分析儀,、半導(dǎo)體/光電分析平臺(tái)及定制測(cè)試方案供應(yīng)商
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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本設(shè)備適用于在涂膠前對(duì)品片進(jìn)行預(yù)處理設(shè)備由腔體,、真空、加熱,、充氮,、加液及控制等系統(tǒng)組成通過(guò)多次預(yù)抽真空,熱氮加熱,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過(guò)加液系統(tǒng)在硅片表面開(kāi)成HDMS保護(hù)膜,,從而使硅片具有良好的涂膠性能和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對(duì)人體無(wú)害的顯著優(yōu)點(diǎn);也可用于品片其它工藝的清洗控制采用PLC,人機(jī)界面采用觸摸屏,具有可靠性高,操作方便,、直觀等特點(diǎn)
整機(jī)尺寸:600*620*1260mm
真空腔尺寸:450*450*400mm
真空泵:2X2-4機(jī)械泵
腔體溫度:室溫+50°C-160°C 可調(diào)
設(shè)備控制:plc、觸控
控制方式:手動(dòng)/自動(dòng)
生產(chǎn)能力:每小時(shí)200片(2”)或50片(4”)
熱板功率:1.5KW
設(shè)備功率:2KW
電源輸入:AC220V
在HMDS工藝之前有和沒(méi)有脫水的HMDS涂覆表面的行為