儀器介紹：

在材料科學(xué),、半導(dǎo)體研究及納米技術(shù)不斷發(fā)展的推動下，對高溫實驗設(shè)備的性能要求日益提高,。特別是在化學(xué)氣相沉積（CVD）,、材料熱處理、真空燒結(jié)等需要嚴(yán)格氣氛與溫度控制的工藝中,，設(shè)備的穩(wěn)定性,、精確性和操作便捷性直接影響著實驗結(jié)果的質(zhì)量與科研效率。為滿足這些高精度實驗需求,，高溫真空氣氛管式爐應(yīng)運而生,，成為高校和科研機構(gòu)實驗室中的關(guān)鍵裝備。

高溫真空氣氛管式爐專為1100℃或1700℃以下的CVD工藝及其他高溫反應(yīng)設(shè)計,，能夠在真空,、惰性氣體或可控氣氛條件下穩(wěn)定運行，適用于多種材料的合成,、涂層制備及結(jié)構(gòu)調(diào)控研究,。其采用開啟式結(jié)構(gòu)設(shè)計，極大地方便了樣品的裝載與取出,，并提升了爐管更換與清潔的便捷性,，顯著提高了實驗效率和設(shè)備維護(hù)的靈活性。

儀器特點：

1.最高溫度1100℃,、1700℃,。

2.分體式設(shè)計，降溫速率快,。
3.工作管徑范圍φ30mm,、φ40mm、φ50mm,、φ60mm,、φ80mm、φ100mm,。
4.高純氣煉石英管或者高純陶瓷管,。

5.輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料,，耐熱沖擊性好，蓄熱低,。

6.快速升溫,，升溫速率可達(dá)10℃。

7.半導(dǎo)體繼電器控制加熱元器件,，控溫精確,，壽命長，無噪音,。

8.多段程序控溫,，PID調(diào)節(jié)，可編制多種升降溫程序,。

9.超溫保護(hù)功能,，超溫自動斷電。

可選配置：

1.真空泵
2.多區(qū)控溫,，兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列（如下圖）
3.瑞典kanthal 電熱絲

4.數(shù)顯真空計（高精度顯示真空值）

5.多路氣氛混氣系統(tǒng)（浮子流量計或質(zhì)量流量計）

6.無紙紀(jì)錄儀（帶通訊端口）

技術(shù)參數(shù)：