儀器介紹：

在高溫材料制備與化學氣相沉積（CVD）工藝研究中，實驗設(shè)備的性能直接影響著材料合成的質(zhì)量與科研效率,。隨著對新型功能材料,、半導體材料以及納米結(jié)構(gòu)材料研究的不斷深入，科研人員對加熱設(shè)備的控溫精度,、熱場均勻性及操作便捷性提出了更高要求,。陶瓷纖維管式馬弗爐正是為滿足這些需求而設(shè)計的一款高性能實驗設(shè)備。

陶瓷纖維管式馬弗爐設(shè)計用于1100℃或1700℃以下CVD工藝,。采用開啟式設(shè)計,，方便樣品操作及爐管更換。高純電阻絲內(nèi)嵌在輕質(zhì)陶瓷纖維材料中,，周邊拓展系統(tǒng)齊全,，適合高校,、科研院所實驗之使用。

儀器特點：

1.最高溫度1100℃,、1700℃,。

2.分體式設(shè)計,，降溫速率快,。
3.工作管徑范圍φ30mm、φ40mm,、φ50mm,、φ60mm、φ80mm,、φ100mm,。
4.高純氣煉石英管或者高純陶瓷管。

5.輕質(zhì)陶瓷纖維隔熱材料,，耐熱沖擊性好,，蓄熱低。

6.快速升溫,，升溫速率可達10℃,。

7.半導體繼電器控制加熱元器件，控溫精確,，壽命長,，無噪音。

8.多段程序控溫,，PID調(diào)節(jié),，可編制多種升降溫程序。

9.超溫保護功能,，超溫自動斷電,。

可選配置：

1.真空泵
2.多區(qū)控溫，兩溫區(qū)YMG(2)系列或三溫區(qū)YMG(3)系列（如下圖）
3.瑞典kanthal 電熱絲

4.數(shù)顯真空計（高精度顯示真空值）

5.多路氣氛混氣系統(tǒng)（浮子流量計或質(zhì)量流量計）

6.無紙紀錄儀（帶通訊端口）