HCP421V-MPS Instec的真空型mini臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號,、多溫度范圍,。同時允許溫控、探針電測試,、光學觀察和樣品氣體環(huán)境控制,。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體,，來防止樣品在負溫下結霜,，或高溫下氧化。

XYZ模塊化變溫探針臺功能特點

mimi型溫控探針臺,，可集成到各種光學設備

可編程控溫,，涵蓋-190℃~400℃

適用10 mm~26 mm晶圓和器件

可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用

獨立的四個探針,，可從設備外部移動探針進行點針,

模塊化設計,，可自由組合

*可升級為8個獨立探針

可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK

SMA接頭轉BNC四探針,，手動點針

XYZ模塊化變溫探針臺溫控參數

溫度范圍 -190℃~400℃（負溫需配液氮制冷）

加熱塊材質銀

傳感器/溫控方式

最大升溫速率100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源）

30℃/min

最小溫控速度±0.01℃/min

溫度分辨率0.01℃RTD傳感器

溫度穩(wěn)定性±0.05℃（>25℃）,，±0.1℃（<25℃）

軟件功能 可設溫控速率，可設溫控程序,，可記錄溫控曲線

電學參數

探針 默認為錸鎢材質的彎針探針

探針座可從外部XYZ移動的探針臂

點針從外部移動點針,，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置

探針接口默認為SMA接頭轉BNC

*可增設腔內接線柱（樣品接電引線）

樣品臺面電位 默認為電接地，可選電懸空（作背電極）,，可選三同軸接口

光學參數

適用光路 反射光路

窗片可拆卸與更替的窗片

最小物鏡工作距離8/12 mm（可選）*截面圖中WD

上蓋窗片觀察窗片范圍φ45mm,，最大視角±50°*截面圖中θ1

負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路

結構參數

適用樣品 26 mm直徑（標準）

樣品腔高4/8 mm（可選）

探針座可從外部XYZ移動的探針臂

粗調模式+微調模式,，XY粗調20mm

XY微調行程10mm,Z微調3mm

調節(jié)精度10um

氣氛控制真空腔,，也可充入保護氣體

外殼冷卻可通循環(huán)水,，以維持外殼溫度在常溫附近

臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm/4kg

配置列表

基本配置 真空型臺式探針臺,、mK2000B溫控器

可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng),、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭,、防震桌,、真空系統(tǒng)、測試源表,、三同軸BNC,、臺面電懸空、樣品接電引線

典型應用

表征薄膜,、二維材料,、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試

需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口,、三同軸BNC接口的

需要鎢錸探針,、鈹銅探針或其他材料的探針的

需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的

晶圓、半導體器件,、集成電路,、印刷電路板、光伏板,、LCD/LED測試

測量IV和CV特性,、擊穿電壓、漏電流,、電阻,、介電常數和二極管效率

HCP402V-MPS溫度范圍其他可選型號

TP102V-MPS 溫度范圍-40℃~180℃，樣品區(qū),40mm*40mm

HCP421V-MPS溫度范圍-190℃~400℃,，樣品區(qū)

Φ26mm-190℃~400℃,，樣品區(qū)50mm*50mm

HP1000G-MPS溫度范圍35℃~1000℃，樣品區(qū)25mm*25mm,氣密腔室

定制型號 按客戶需求定制,，最大適用300mm晶圓樣品