光刻投影模組

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 江蘇集萃中科先進光電技術(shù)研究所有限公司
品牌 集萃中科光電
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/5/28 9:58:10
訪問次數(shù) 38

產(chǎn)品標簽

光學儀器組件光刻投影模組光學實驗設備

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公司介紹 主營產(chǎn)品

江蘇集萃中科旨在光學組件,、光學儀器、智能光電感知三大方向,，開展系列關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)化實踐,，目前已形成3D光學輪廓儀、白光干涉儀,、反射膜厚儀,、光致發(fā)光、無損檢測儀,、光譜橢偏儀等標準化產(chǎn)品,。公司服務涵蓋光學儀器的研發(fā)、生產(chǎn)及制造一站式服務,同時為客戶提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案,。

展開

白光干涉儀,、光學輪廓儀,、粗糙度儀、光學膜厚儀,、光譜橢偏儀等光學產(chǎn)品,。

詳細信息 在線詢價

價格區(qū)間	面議	應用領(lǐng)域	綜合
組件類別	光學元件

光刻投影模組功能：

超低畸變設計

采用光學設計和高質(zhì)量非球面透鏡，確保成像邊緣和中心區(qū)域的一致性,，畸變率低于 0.1%,，滿足高精度光刻需求。

精準控制倍率

支持高精度的倍率調(diào)節(jié)功能,，倍率誤差控制在±0.01%以內(nèi),，確保圖案轉(zhuǎn)移的精確性。

均勻照明系統(tǒng)

集成均勻化照明技術(shù),，確保曝光區(qū)域光強分布一致,，提升光刻質(zhì)量。

多波長兼容

支持紫外（UV）多種波長光源,，適應不同光刻工藝需求,。

光刻投影模組技術(shù)參數(shù)：

焦深 DOF	±300um ±300um
OPD	＜1/2λ@370-440nm
場曲	＜50μm
像散	＜50μm
全視場畸變	＜0.01% ＜0.02%
倍率色差	＜3μm
軸向色差	＜300μm
點陣 RMS	半徑＜3.5μm