ULVAC（愛發(fā)科）作為以真空技術(shù)為核心的綜合企業(yè)集團，其產(chǎn)品和技術(shù)廣泛應(yīng)用于多個工業(yè)領(lǐng)域,。以下是主要應(yīng)用場景及對應(yīng)產(chǎn)品：

?半導(dǎo)體制造?

提供超微細(xì)化技術(shù)設(shè)備,，支持下一代半導(dǎo)體的高集成化與低成本制造需求；

LR系列多級羅茨型干泵專門用于縮短半導(dǎo)體工藝中的排氣時間,，提升產(chǎn)能,；

配套真空部件（如R-7真空泵油）保障設(shè)備穩(wěn)定運行8。

?平板顯示（FPD）與光伏（PV）制造?

開發(fā)濺射設(shè)備用于顯示器鍍膜工藝,，覆蓋金屬,、氧化物等材料的精密沉積；

適配FPD/PV生產(chǎn)線的高真空泵（如VDN系列油旋片泵）,，滿足低噪音,、高效率的抽氣需求。

?電子設(shè)備制造?

推出支持高集成化電子產(chǎn)品的制造設(shè)備,，涉及精密加工和材料處理技術(shù),；

真空計（如ST200/SH200系列）用于惡劣環(huán)境下高精度真空測量，確保工藝穩(wěn)定性,。

?通用工業(yè)領(lǐng)域?

真空泵（如VDN301/401）應(yīng)用于鍍膜,、干燥、抽氣等場景,，適配機械,、汽車、化工等行業(yè)；

提供真空系統(tǒng)解決方案,，涵蓋能源,、環(huán)保、生物工程等跨領(lǐng)域需求,。