Kashiyama樫山工業(yè)干式真空泵
Kashiyama樫山工業(yè)干式真空泵
關(guān)于應(yīng)用領(lǐng)域，結(jié)果6提到應(yīng)用于化工,、電子/電池,、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，這說明該泵適用于高精度和高要求的工業(yè)環(huán)境,。同時,，結(jié)果6還提到樫山工業(yè)在半導(dǎo)體制造中的可靠性

• 技術(shù)沉淀?：公司在真空技術(shù)領(lǐng)域擁有深厚積累，其干式真空泵系列已成為半導(dǎo)體制造工藝的標準設(shè)備之一7,。

二,、核心技術(shù)

1. ?無油干式設(shè)計?

• 采用無潤滑油機械結(jié)構(gòu)，避免介質(zhì)污染,，適用于超潔凈工藝環(huán)境（如半導(dǎo)體晶圓制造）
  

• 支持氮氣吹掃功能（0～80 SLM流量調(diào)節(jié)）,，增強工藝靈活性
  

2. ?高效節(jié)能技術(shù)?

• 通過新型加熱器系統(tǒng)與機械結(jié)構(gòu)優(yōu)化，實現(xiàn)低功耗化（例如 SDX600 功率僅 1.5 kW）
  

• 小型化機身設(shè)計（如 SDX600 尺寸 695×285×820 mm）,，節(jié)省安裝空間
  

3. ?高可靠性保障?

• 符合工業(yè)安全標準,，配備高安全性防護設(shè)計，適應(yīng)工況下的穩(wěn)定運行
  

三,、核心產(chǎn)品系列

• ?SD 系列真空泵?：包含 SDX600,、SDT600、SDX1200 等多型號,，覆蓋抽氣速率 10,000 L/min 至 100,000 L/min,，滿足不同規(guī)模需求
  

• ?產(chǎn)品兼容性?：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，擴展應(yīng)用場景（如搭配 SDT600 或 SDX1200 使用）
  

四,、應(yīng)用領(lǐng)域

• ?半導(dǎo)體制造?：用于晶圓加工,、蝕刻等關(guān)鍵工藝的真空環(huán)境控制
  

• ?電子/電池行業(yè)?：支持鋰電池生產(chǎn)、精密元件封裝等潔凈場景
  

• ?實驗室與化工?：適用于高純度實驗環(huán)境及腐蝕性氣體處理

• 技術(shù)參數(shù)?

• ?最大排氣速度?：10,000 l/min

• ?極限壓力?：0.5 Pa

• ?功率?：1.5 kW

• ?冷卻水需求?：3.0 l/min

• ?外形尺寸?：695×285×820 mm

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