轉(zhuǎn)子設(shè)計和怠速功能,，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應(yīng)用,，從負載鎖和 SEM 等輕負載應(yīng)用到腐蝕性工藝,。

特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應(yīng)對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應(yīng)應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化,、離子注入,、外延生長等

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康,、AITEC艾泰克,、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨,、SAKAZUME坂詰,、TORAY東麗、DNP大日本科研,、TOKYO DENSHOKU電色,、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原,、LUCEO魯機歐,、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學(xué)

AND艾安得,、T&D天特,、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波,、OKANO岡野,、ANRITSU安立計器

IMV艾目微、MITUTOYO三豐,、KYOWA共和,、ONOSOKKI小野、SANEI三榮,、HEIDON新東科學(xué)KURABO倉紡,、SHOWA昭和、THINKY新基,、AIKOH愛光,、SEM坂本電機

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密,、SANSYO三商,、ITOH伊藤、NAGARISHI成茂,、

RKC理化,、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯,、YODOGAWA淀川等