PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）

V76帶T-Motion的大型傳輸閥/插入件是為滿足太陽能和顯示器生產系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的,。V76專為高循環(huán)生產系統(tǒng)而開發(fā)，在大型傳輸閥（≤2秒,，150?mm開口高度）,。V76的設計目標是在超過一百萬次循環(huán)的生命周期內實現(xiàn)高正常運行時間和可靠運行,。

V76使用的T-Motion技術基于模塊化平臺概念，并針對關鍵的太陽能和顯示應用進行了全面優(yōu)化：

lPECVD/ETCH：對于這些應用,，V76版本的閥門上提供了一種特殊的服務功能,，允許在真空下傳輸室保持生產模式的同時，保持工藝室的閘門,。這一特性尤為重要,，因為在PECVD和ETCH工藝中，需要頻繁清潔和更換閘門密封,。軟移動,、雙作用T型運動機構沿整個密封表面提供均勻的密封壓力，減少所需的密封載荷,，最大限度地減少密封磨損,。這降低了閥門壽命期間的FFKM密封成本。

lOLED/PVD和負載鎖：使用V76的修改版本,，使用更大的壓力元件,，可以施加全壓差。該版本提供OLED的“超清潔”配置,，并為PVD和負載鎖定應用提供高速選項,。

V76系列有帶外殼的標準傳輸閥或直接安裝在工藝室中的插入式版本。

V76系列已經在各種工藝條件下安裝在數(shù)百個太陽能和顯示器生產系統(tǒng)中,，證明了其在各個方面的出色性能,。

與所有PRECESS輸送閥解決方案一樣，V76大型輸送閥/帶T-Motion的插入件是根據(jù)客戶的確切規(guī)格量身定制的,。這些定制可能包括額外的過程控制單元,、特殊的表面處理，如硬質陽極氧化鋁或鍍鎳鋁,、其他密封材料,、檢測閥體壓力的真空計、波紋管保護的軸饋通,、閥門和閘門的射頻和直流接地選項,、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。

特征

l半標準應用（半E21-9半E24-92半E21.1-1296）

l通過使用獲得認證的L形運動連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔,，顯著減少了振動,，實現(xiàn)了更快、更平穩(wěn)的執(zhí)行

l機械鎖處于關閉位置

優(yōu)點

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設計有固定器,，以防止拆卸時螺栓脫落

l氣動執(zhí)行器雙作用

應用

l太陽能,、FPD加工

l高運行速度下的低沖擊

l位置3允許在對閥門進行維護工作時保持一個腔室處于真空狀態(tài)

lLCD/平板加工

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V76系列）

技術參數(shù)